Hoe geavanceerde materialen 3 kritieke uitdagingen oplossen in het ontwerp van halfgeleiderovens

De race om transistorgroottes te verkleinen en de efficiëntie van zonnecellen te schalen, duwt thermische verwerkingsapparatuur tot het uiterste. Bij Semicorex hebben we twee decennia besteed aan het samenwerken met toonaangevende halfgeleider- en PV -fabrikanten om een ​​terugkerend pijnpunt aan te pakken: wanneer standaardmaterialen onder extreme omstandigheden falen, kunnen volledige productiebatches worden aangetast.

CVD -coatings: het pantser voor procescomponenten

Chemische dampafzetting (CVD) coatings zoals siliciumcarbide (SIC) en tantalumcarbide (TAC) zijn een revolutie teweeg in de levensduur van de componenten in harde omgevingen:

Sic coatingVoordelen:

Vervoert temperaturen tot 1.650 ° C in inerte atmosferen

Vermindert deeltjesbesmetting in epitaxiale groeipeactoren

Verlengt de levensduur van Graphite Susceptors met 3-5x

TAC -coatingIn diffusiebarrières:

Voorkomt gesmolten siliciuminfiltratie in smeltkroezen (99,999% zuiverheidsretentie)

Minimaliseert wafer warpage tijdens snelle thermische verwerking (RTP)

Wanneer de temperatuur hoger is dan 1600 ° C: het CVD -coatingvoordeel

Dit is geen magie - het is materiaalwetenschap. Ons eigen CVD-procesafzettingen stort zowel siC- als TAC-coatings af met precisie op atoomniveau, waardoor oppervlakken worden gecreëerd die:

Weersta siliciumdampcorrosie 3x langer dan standaardcoatings

Handhaven <0,5 µm dikte variatie over complexe geometrieën

Elimineer coating delaminatie, zelfs onder thermische fietsen

De stille crisis in thermische uniformiteit

In kristalgroei -ovens kan inconsistente temperatuurverdeling een silicium -ingot van $ 250K in schroot veranderen. Door materiële innovaties zoals:

Dichtheid-grad-grafiet vilt (0,18-0,25 g/cm³ gradiëntontwerp)

Koolstof-koolstofcomposietisolatoren met <2% thermische expansie anisotropie

... We hebben klanten geholpen te bereiken:

✔️ ± 1,5 ° C Axiale temperatuuruniformiteit in 300 mm Czochralski -systemen

✔️ 40% snellere koelingspercentages zonder te kraken

Waarom Quartz Purity er meer toe doet dan ooit

Wanneer een Tier-1 Mems de gieterij deeltjesdefecten op hun etsende kamer voert, heeft onze belvrije fuse kwartsoplossing:

Verminderde metaalverontreiniging met 89% (ICP-MS-analyse)

Uitgebreide preventieve onderhoudsintervallen van 3 tot 8 maanden

Bereikte 99,999% initiële zuiverheid met <0,1ppb alkalimetaalgehalte

Naast specificaties: Application Engineering Matters

Hoewel technische specificaties baseline-vergelijkingen bieden, zijn real-world prestaties afhankelijk van:

• Materiaalprocess -koppeling - Hoe componenten interageren met specifieke chemie (bijv. CL₂ versus SF₆ plasma's)

• Bibliotheken van de faalmodus - Onze database van 1.200+ Component Failure -cases informeert materiaalselectie

• Aangepaste beoordeling - Porositeit/geleidbaarheid van grafiet aanpassen over onderdeel dwarsdoorsneden

Semicorex biedt hoogwaardigeTantalum carbide gecoatEnSiliconencarbide gecoatAangepaste onderdelen. Als u vragen heeft of aanvullende details nodig hebt, aarzel dan niet om contact met ons op te nemen.

Neem contact op met telefoon # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com