Vat-susceptors zijn een cruciaal onderdeel dat wordt gebruikt in verschillende productieprocessen van halfgeleiders, zoals LPE, MOCVD. Semicorex brengt zeer zuiver siliciumcarbide in dunne lagen aan op het grafiet met behulp van het chemische dampdepositieproces (CVD), waardoor de halfgeleiderkwaliteit uitstekende thermische stabiliteit, chemische weerstand en slijtvastheid heeft, waardoor ze ideaal zijn voor gebruik in hoge- temperatuur processen.
● Zeer zuiver SiC-gecoat grafiet
● Superieure hittebestendigheid en chemische bestendigheid
● Hoge thermische uniformiteit
● Uitstekende slijtvastheid