Semicorex grafiet middenplaat of MOCVD susceptor is siliciumcarbide van hoge zuiverheid, gecoat door chemische dampafzetting (CVD), waarbij tijdens het proces de epitaxiale laag op de waferchip wordt gekweekt. De met SiC gecoate susceptor is een essentieel onderdeel van de MOCVD en vereist dus een superieure hitte- en chemische bestendigheid, evenals een hoge thermische uniformiteit. We hebben speciaal ontwikkeld voor deze veeleisende toepassingen van epitaxieapparatuur.