Als professionele fabrikant willen wij u Wafer Heater aanbieden. Verwarmers voor depositieapparatuur vereisen een uniforme thermische verdeling over de wafer, samen met een hoge zuiverheid en plasmaweerstand. Semicorex levert CVD-siliciumcarbide gecoate verwarmingstoepassingen, waaronder verwarmers en smeltkroezen. Onze geavanceerde verwarmingscomponenten zijn geschikt voor ALD-CVD-PVD-processen in vacuümdepositieomgevingen.
Semicorex SiC Heating Filament is een met siliciumcarbide gecoate grafietverwarmer, ontworpen voor wafelverwarming in de geavanceerde halfgeleiderproductie. Kiezen voor Semicorex betekent kiezen voor een vertrouwde partner die zeer zuivere materialen, nauwkeurig maatwerk en langdurige prestaties levert voor de meest veeleisende thermische processen.*
Lees verderStuur onderzoekDe CVD SiC-coating van Semicorex SiC Coating Heater biedt superieure prestaties bij het beschermen van verwarmingselementen tegen de agressieve, corrosieve en reactieve omgevingen die vaak voorkomen bij processen zoals Metal-Organic Chemical Vapour Deposition (MOCVD) en epitaxiale groei.**
Lees verderStuur onderzoekDe MOCVD Heater van Semicorex is een zeer geavanceerd en zorgvuldig ontworpen onderdeel dat een groot aantal voordelen biedt, waaronder uitzonderlijke chemische zuiverheid, thermische efficiëntie, elektrische geleidbaarheid, hoge emissiviteit, corrosieweerstand, inoxideerbaarheid en mechanische sterkte.**
Lees verderStuur onderzoek