Snel thermisch gloeien (afgekort als RTA of RTP) is een snelle thermische verwerkingstechnologie bij de productie van halfgeleiders. Het kernprincipe is om het wafeloppervlak snel te verwarmen met behulp van een stralingswarmtebron met hoge intensiteit (zoals halogeenlampen, lasers, flitslampen, enz......
Lees verderDe halfgeleiderindustrie van de derde generatie ondergaat een snelle capaciteitsuitbreiding. Epitaxieprocessen van siliciumcarbide (SiC) en galliumnitride (GaN) blijven evolueren naar werkomgevingen met hoge temperaturen, ultrazuivere grondstoffen en geminiaturiseerde chipapparaten. Desalniettemin h......
Lees verderBij de productie van halfgeleiders houdt oxidatie in dat de wafel in een omgeving met hoge temperatuur wordt geplaatst, waar zuurstof over het wafeloppervlak stroomt om een oxidelaag te vormen. Dit beschermt de wafel tegen chemische onzuiverheden, voorkomt dat lekstroom de circuits binnendringt, v......
Lees verderSemicorex biedt geavanceerde TaC-gecoate grafietwafelsusceptors die zijn ontworpen voor veeleisende halfgeleiderprocessen die uitstekende thermische stabiliteit, chemische bestendigheid en nauwkeurige wafelondersteuningsprestaties vereisen. Terwijl fabrikanten van halfgeleiders doorgaan met het ontw......
Lees verderFocusringen zijn ringvormige precisieonderdelen die doorgaans rond de wafelkop van plasma-etsapparatuur worden geïnstalleerd en die tijdens het etsproces direct worden blootgesteld aan hoogenergetisch plasma. Hun kernfunctie is het fungeren als opofferingsonderdelen om uniforme etsresultaten over he......
Lees verderAls de onmisbare kernschakels in de productie van halfgeleiders, hebben de stabiliteit en precisie van de technologie voor het vasthouden van wafers een directe invloed op de efficiëntie van de chipproductie en de kwaliteit van het eindproduct. Vacuümklauwplaten en elektrostatische klauwplaten zijn ......
Lees verder