Semicorex RTP-drager is gecoat met siliciumcarbide via het chemische dampafzettingsproces (CVD), dat zeer stabiel is voor RTA, RTP of agressieve chemische reiniging. In de kern van het halfgeleiderproces worden de epitaxie-susceptors eerst onderworpen aan de afzettingsomgeving, zodat deze een hoge hitte- en corrosieweerstand heeft. De met SiC gecoate drager heeft ook een hoge thermische geleidbaarheid en uitstekende warmteverdelingseigenschappen.
● Zeer zuiver SiC-gecoat grafiet
● Superieure hittebestendigheid en chemische bestendigheid
● Hoge thermische uniformiteit
● Uitstekende slijtvastheid
Semicorex SiC-gecoate grafietplaten zijn zeer zuivere dragers die speciaal zijn ontworpen voor de strenge eisen van SiC- en GaN-epitaxie, waarbij gebruik wordt gemaakt van een dichte CVD-siliciumcarbidecoating op een isostatisch grafietsubstraat om een stabiele, chemisch inerte thermische barrière te bieden voor wafelverwerking met hoog rendement. Semicorex levert gekwalificeerde producten en service voor wereldwijde klanten.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex RTP SIC-coatingplaten zijn krachtige wafersdragers ontworpen voor gebruik in veeleisende snelle thermische verwerkingsomgevingen. Vertrouwen door toonaangevende fabrikanten van halfgeleiders, levert Semicorex superieure thermische stabiliteit, duurzaamheid en verontreinigingscontrole ondersteund door rigoureuze kwaliteitsnormen en precisieproductie.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex RTP Ring is een SiC-gecoate grafietring ontworpen voor hoogwaardige toepassingen in Rapid Thermal Processing (RTP)-systemen. Kies Semicorex vanwege onze geavanceerde materiaaltechnologie, die superieure duurzaamheid, precisie en betrouwbaarheid bij de productie van halfgeleiders garandeert.*
Lees verderStuur onderzoekDe RTP Graphite Carrier Plate van Semicorex is de perfecte oplossing voor toepassingen voor de verwerking van halfgeleiderwafels, inclusief epitaxiale groei en verwerking van wafels. Ons product is ontworpen om superieure hittebestendigheid en thermische uniformiteit te bieden, waardoor wordt gegarandeerd dat de epitaxie-susceptors worden blootgesteld aan de afzettingsomgeving, met een hoge hitte- en corrosieweerstand.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex RTP SiC Coating Carrier biedt superieure hittebestendigheid en thermische uniformiteit, waardoor het de perfecte oplossing is voor toepassingen voor de verwerking van halfgeleiderwafels. Met zijn hoogwaardige SiC-gecoate grafiet is dit product ontworpen om bestand te zijn tegen de zwaarste afzettingsomgeving voor epitaxiale groei. De hoge thermische geleidbaarheid en uitstekende warmteverdelingseigenschappen zorgen voor betrouwbare prestaties bij RTA, RTP of agressieve chemische reiniging.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex RTP/RTA SiC Coating Carrier is ontworpen om de zwaarste omstandigheden van de depositieomgeving te weerstaan. Met zijn hoge hitte- en corrosieweerstand is dit product ontworpen om optimale prestaties te leveren bij epitaxiale groei. De met SiC gecoate drager heeft een hoge thermische geleidbaarheid en uitstekende warmteverdelingseigenschappen, waardoor betrouwbare prestaties worden gegarandeerd voor RTA, RTP of agressieve chemische reiniging.
Lees verderStuur onderzoek