Semicorex RTP-drager is gecoat met siliciumcarbide via het chemische dampafzettingsproces (CVD), dat zeer stabiel is voor RTA, RTP of agressieve chemische reiniging. In de kern van het halfgeleiderproces worden de epitaxie-susceptors eerst onderworpen aan de afzettingsomgeving, zodat deze een hoge hitte- en corrosieweerstand heeft. De met SiC gecoate drager heeft ook een hoge thermische geleidbaarheid en uitstekende warmteverdelingseigenschappen.
● Zeer zuiver SiC-gecoat grafiet
● Superieure hittebestendigheid en chemische bestendigheid
● Hoge thermische uniformiteit
● Uitstekende slijtvastheid