Pannenkoek susceptor, een ronde vorm van wafeldrager die wordt gebruikt bij de verwerking van halfgeleiders.
Epitaxie is een cruciale stap in de halfgeleiderverwerking waarbij de epitaxiale laag op halfgeleiderwafels groeit, waarbij de wafels op de grafietkroezen worden gedragen. De kwaliteiten van grafietsuceptors zijn belangrijke factoren voor de kwaliteit van de epi-wafels.
Grafiet susceptoren met siliciumcarbide coating
Semicorex levert susceptors en componenten voor alle epitaxiereactoren, inclusiefvat susceptorsen pannenkoek susceptors. We gebruiken zeer zuivere grafiet- en CVD SiC-coating.