Focusring of randringen zijn ontworpen om de etsuniformiteit rond de wafelrand of omtrek te verbeteren.
Semicorex-focusringen zijn voorzien van een siliciumcarbide-coating met behulp van chemische dampafzetting (CVD) en bieden superieure hittebestendigheid, zelfs thermische uniformiteit voor consistente dikte en weerstand van de epi-laag, en duurzame chemische bestendigheid, die zijn gebouwd om de extreme omstandigheden bij plasma-etsen of droogetsen te weerstaan .
Semicorex SiC Focus Ring is een zeer zuiver siliciumcarbide ringcomponent, ontworpen om de plasmadistributie en de uniformiteit van waferprocessen bij de productie van halfgeleiders te optimaliseren. Kiezen voor Semicorex betekent het garanderen van consistente kwaliteit, geavanceerde materiaaltechniek en betrouwbare prestaties, waar toonaangevende halfgeleiderfabrikanten over de hele wereld op vertrouwen.*
Lees verderStuur onderzoek