Focusring of randringen zijn ontworpen om de etsuniformiteit rond de wafelrand of omtrek te verbeteren.
Semicorex-focusringen zijn voorzien van een siliciumcarbide-coating met behulp van chemische dampafzetting (CVD) en bieden superieure hittebestendigheid, zelfs thermische uniformiteit voor consistente dikte en weerstand van de epi-laag, en duurzame chemische bestendigheid, die zijn gebouwd om de extreme omstandigheden bij plasma-etsen of droogetsen te weerstaan .