Tijdens de verwerking moeten halfgeleiderwafels worden verwarmd in gespecialiseerde ovens. De reactor bestaat uit langwerpige, cilindrische buizen, waarin wafers op vooraf bepaalde, gelijke afstanden op de waferboten worden geplaatst. Om de verwerkingsomstandigheden in de kamer te overleven en de verspilling van de wafers door de verwerkingsapparatuur, de waferboten en vele andere andere apparaten die bij de wafelverwerking worden gebruikt, zijn vervaardigd uit een materiaal zoals siliciumcarbide (SiC).
De boten, beladen met een partij te verwerken wafels, worden op lange vrijdragende peddels geplaatst, waarmee ze in de buisovens en reactoren kunnen worden gestoken en eruit kunnen worden gehaald. De peddels omvatten een afgeplat draaggedeelte waarop een of meer boten kunnen worden geplaatst, en een lange handgreep, geplaatst aan één uiteinde van het afgeplatte draaggedeelte, waarmee de peddel kan worden gehanteerd.
Het wordt aanbevolen om een cantilever-peddel te gebruiken voor het gebruik van herkristalliseerd siliciumcarbide met een dunne CVD SiC-laag, die een hoge zuiverheid heeft en de beste keuze is voor de componenten bij de verwerking van halfgeleiders.
Semicorex kan service op maat bieden volgens de tekeningen en de werkomgeving.
Semicorex High Purity SiC Cantilever Paddle is gemaakt van zeer zuiver gesinterd SiC-keramiek, dat een structureel onderdeel is in een horizontale oven in halfgeleiders. Semicorex is een ervaren bedrijf dat SiC-componenten levert in de halfgeleiderindustrie.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SiC Ceramic Paddle is een zeer zuivere cantilevercomponent ontworpen voor halfgeleiderovens met hoge temperatuur, voornamelijk gebruikt in oxidatie- en diffusieprocessen. Kiezen voor Semicorex betekent toegang krijgen tot geavanceerde keramische oplossingen die uitzonderlijke stabiliteit, netheid en duurzaamheid garanderen voor kritische waferbehandelingstoepassingen.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SiC-peddels zijn zeer zuivere siliciumcarbide cantileverarmen, ontworpen voor wafeltransport in oxidatie- en diffusieovens bij hoge temperaturen boven 1000 ℃. Kiezen voor Semicorex betekent het garanderen van uitzonderlijke materiaalkwaliteit, precisietechniek en langdurige betrouwbaarheid, waar toonaangevende halfgeleiderfabrikanten op vertrouwen.*
Lees verderStuur onderzoek