Tijdens de verwerking moeten halfgeleiderwafels worden verwarmd in gespecialiseerde ovens. De reactor bestaat uit langwerpige, cilindrische buizen, waarin wafels op vooraf bepaalde, gelijke afstanden op de wafelboten worden geplaatst. Om de verwerkingsomstandigheden in de kamer te overleven en om afval van de verwerkingsapparatuur, de wafelboten en vele andere apparaten die worden gebruikt bij het verwerken van wafels zijn vervaardigd van een materiaal zoals siliciumcarbide (SiC).
De boten, geladen met een partij te verwerken wafels, worden op lange vrijdragende peddels geplaatst, waarmee ze in de buisovens en reactoren kunnen worden gestoken en eruit kunnen worden gehaald. De peddels bevatten een afgeplat draaggedeelte waarop een of meer boten kunnen worden geplaatst, en een lange handgreep, gepositioneerd aan een einde van het afgeplatte draaggedeelte, waarmee de peddel kan worden gehanteerd.
Cantilever-paddle wordt aanbevolen voor het gebruik van geherkristalliseerd siliciumcarbide met een CVD SiC-dunne laag, wat een hoge zuiverheid is en de beste keuze voor de componenten in halfgeleiderverwerking.
Semicorex kan service op maat bieden volgens de tekeningen en werkomgeving.
Semicorex SiC (Silicon Carbide) Cantilever Paddle is een cruciaal onderdeel dat wordt gebruikt in productieprocessen van halfgeleiders, met name in diffusie- of LPCVD-ovens (Low-Pressure Chemical Vapour Deposition) tijdens processen zoals diffusie en RTP (Rapid Thermal Processing). De SiC Cantilever Paddle moet halfgeleiderwafels veilig in de procesbuis vervoeren tijdens verschillende hogetemperatuurprocessen zoals diffusie en RTP. Het dient voor het ondersteunen en transporteren van wafels in de procesbuis van deze ovens. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex siliciumcarbide cantilever-peddel is een gespecialiseerd onderdeel dat wordt gebruikt in ovens voor verschillende thermische verwerkingstoepassingen. Semicorex zet zich in voor het leveren van kwaliteitsproducten tegen concurrerende prijzen, we kijken ernaar uit om uw langdurige partner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekGrote wafellaadkracht siliciumcarbide SiC keramische vrijdragende peddel is geschikt voor een robot automatisch laad- en hanteringssysteem omdat het stabiele prestaties heeft, niet-vervorming bij hoge temperaturen en een grote wafellaadkracht. Semicorex zet zich in voor het leveren van kwaliteitsproducten tegen concurrerende prijzen, we kijken ernaar uit om uw langdurige partner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoek