Eindeffector is de hand van de robot die halfgeleiderwafels beweegt tussen posities in waferverwerkingsapparatuur en dragers. De eindeffector moet dimensioneel nauwkeurig en thermisch stabiel zijn, terwijl hij een glad, slijtvast oppervlak heeft om wafers veilig te kunnen hanteren zonder apparaten te beschadigen of deeltjesverontreiniging te veroorzaken.
Semicorex hoogzuivere siliciumcarbide (SiC) coatingcomponenten bieden superieure hittebestendigheid, zelfs thermische uniformiteit voor consistente dikte en weerstand van de epi-laag, en duurzame chemische bestendigheid.
Semicorex aluminiumoxide keramische arm is een robotcomponent met een hoge zuiverheid die is ontworpen voor precieze en verontreinigingsvrije waferafhandeling in de productie van halfgeleiders. Het kiezen van Semicorex zorgt niet alleen voor geavanceerde kwaliteit van keramische materiaal aluminiumoxide, maar ook precisie vakmanschap die duurzaamheid, netheid en betrouwbaarheid in kritieke procesomgevingen garandeert.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SIC-arm is een hoogwaardige siliciumcarbide-component ontworpen voor precieze waferafhandeling en positionering bij de productie van halfgeleiders. Het kiezen van Semicorex zorgt voor ongeëvenaarde materiële betrouwbaarheid, chemische weerstand en precisie -engineering die de meest veeleisende halfgeleiderprocessen ondersteunen.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SiC-vingers zijn precisie-ontwikkelde componenten gemaakt van siliciumcarbide met een hoog zuivere, ontworpen om te presteren onder de extreme eisen van de productie van halfgeleiders. Het kiezen van semicorex betekent toegang tot geavanceerde materiaalexpertise, zeer nauwkeurige verwerking en betrouwbare oplossingen die zijn vertrouwd in kritische waferafhandelingstoepassingen.*
Lees verderStuur onderzoek