Alumina ceramics are a type of advanced ceramic material that is primarily made of aluminum oxide and the general purpose of ceramists. They are in great demand because of their remarkable comprehensive properties, some of which include high hardness, high wear resistance, and high temperature resistance. These will maintain their structure at very high temperatures. Additionally, alumina ceramics have high electrical insulation and chemical resistance, and very high mechanical strength. While brittleness will limit them. They possess all those properties which has resulted in alumina ceramics playing a central role in the semiconductor industry.
The vacuum chuck will be attached to the vacuum equipment via a connecting pipe. When the chuck comes in contact with the workpiece, i.e., a sheet or film, the vacuum equipment will activate and draw negative pressure in the chuck. The workpiece is carried by atmospheric pressure thus it will cling firmly to the chuck allowing the processing to go on without issue. When the workpiece is done being processed the vacuum machine will stop and the chuck will gradually fill with air. The workpiece will separate of its own accord thus finishing the clamping, processing and handling processes.
Black Alumina ceramic is one of the primary materials used in vacuum chucks. It is primarily composed of Al2O3, with transition metal oxides as colorants and sintering aids added. The process is then sintered at a specific temperature. Vacuum chucks made from porous ceramic feature ultra-fine micrometer-level pores and spacing, enabling reliable handling of thinner and more delicate workpieces. Furthermore, these chucks can accommodate workpieces of varying sizes, eliminating the need to maintain a fixed set of shapes and sizes for each workpiece, thus saving costs and improving efficiency.
Alumina ceramics have a high elastic modulus and specific stiffness, are resistant to deformation, and have a low coefficient of thermal expansion and high thermal stability. They are an excellent structural material and are currently widely used in aviation, aerospace, petrochemicals, machinery manufacturing, the nuclear industry, and microelectronics.
Alumina ceramic components offer excellent properties such as high hardness, high mechanical strength, exceptional wear resistance, high temperature resistance, high resistivity, and excellent electrical insulation. They can meet the complex performance requirements of semiconductor manufacturing in special environments such as vacuum and high temperature. They play an irreplaceable and important role in semiconductor manufacturing production lines, covering nearly all semiconductor manufacturing equipment and serving as key components. Alumina ceramic components are primarily categorized by application, including annular and cylindrical types, airflow guides, load-bearing and fixed types, hand-grip gaskets, and modules.
Semicorex aluminiumoxide-montageplaten zijn hoogwaardige keramische component die is ontworpen voor precieze waferafhandeling in de productie van halfgeleiders. De superieure sterkte, isolatie en thermische stabiliteit maken het ideaal voor het eisen van cleanroomautomatiseringsomgevingen.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex aluminiumoxide robotarm is een krachtige keramische component die is ontworpen voor nauwkeurige afhandeling in de wafer in de productie van halfgeleiders. De superieure sterkte, isolatie en thermische stabiliteit maken het ideaal voor het eisen van cleanroomautomatiseringsomgevingen.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex aluminiumoxide keramische eindeffector is een precisie-ontworpen component die specifiek is ontworpen voor betrouwbare en verontreinigingsvrije waferafhandeling in de productie van halfgeleiders en gerelateerde toepassingen.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex Porous Ceramic Chuck (Vacuum Chuck) is een uiterst nauwkeurig gereedschap dat is ontworpen om wafers veilig vast te houden tijdens productieprocessen van halfgeleiders. Door voor Semicorex te kiezen, profiteert u van een oplossing die uitzonderlijke prestaties, duurzaamheid en aanpassingsmogelijkheden biedt, waardoor verbeterde productie-efficiëntie en consistente kwaliteitsnormen worden gegarandeerd.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex aluminiumoxide vacuümklauwplaten zijn nauwkeurig ontworpen componenten die zijn ontworpen om wafers of substraten veilig vast te houden tijdens kritische halfgeleider- en precisieproductieprocessen. Met de toewijding van Semicorex aan hoogwaardige materialen en geavanceerde productietechnieken bieden onze aluminiumoxide vacuümklauwplaten ongeëvenaarde betrouwbaarheid, precisie en prestaties voor uw meest veeleisende toepassingen.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex Vacuum Chuck is een hoogwaardig onderdeel dat is ontworpen voor het veilig en nauwkeurig hanteren van wafers bij de productie van halfgeleiders. Kies Semicorex voor onze geavanceerde, duurzame en contaminatiebestendige oplossingen die optimale prestaties garanderen in zelfs de meest veeleisende processen.*
Lees verderStuur onderzoek