Gasinlaatringen worden gebruikt om de rand en omtrek van de wafer af te dekken, waardoor kritische kamercomponenten worden beschermd om een schone, inerte en beschermde omgeving te creëren en hun levensduur in depositiekamers wordt verlengd, zodat ze worden blootgesteld aan plasma en hoge temperaturen tijdens depositie of waferverwerking , dus een sterke plasmaduurzaamheid en hoge zuiverheid zijn van cruciaal belang voor de uiteindelijke wafelopbrengst.
Semicorex CVD SiC-gecoate ringen zijn speciaal ontworpen voor deze veeleisende epitaxieapparatuurtoepassingen.