China Halfgeleidercomponenten fabrikanten, leveranciers, fabriek

Als professionele fabrikant willen we u halfgeleidercomponenten leveren. Semicorex is uw partner voor het verbeteren van halfgeleiderverwerking. Onze siliciumcarbidecoatings zijn dicht, bestand tegen hoge temperaturen en chemicaliën, die vaak worden gebruikt in de hele cyclus van de productie van halfgeleiders, inclusief de verwerking van halfgeleiderwafers en -wafers en de fabricage van halfgeleiders.

Hoogzuivere SiC-gecoate componenten zijn cruciaal voor processen in de halfgeleider. Ons aanbod varieert van verbruiksartikelen van grafiet voor kristalgroeiende hete zones (verwarmers, kroes-susceptors, isolatie) tot zeer nauwkeurige grafietcomponenten voor waferverwerkingsapparatuur, zoals met siliciumcarbide gecoate grafietsusceptors voor epitaxie of MOCVD.

Voordelen voor halfgeleiderprocessen

De afzettingsfasen van de dunne film, zoals epitaxie of MOCVD, of de behandeling van wafers, zoals etsen of ionenimplantatie, moeten hoge temperaturen en agressieve chemische reiniging doorstaan. Semicorex levert een zeer zuivere siliciumcarbide (SiC) gecoate grafietconstructie die superieure hittebestendigheid en duurzame chemische weerstand biedt, zelfs thermische uniformiteit voor consistente dikte en weerstand van de epilaag.

Kamerdeksels â
Kamerdeksels die worden gebruikt bij kristalgroei en verwerking van wafels moeten bestand zijn tegen hoge temperaturen en agressieve chemische reiniging.

Eindeffector â
Eindeffector is de hand van de robot die halfgeleiderwafels beweegt tussen posities in wafelverwerkingsapparatuur en dragers.

Inlaatringen â
SiC-gecoate gasinlaatring door MOCVD-apparatuur Verbindingsgroei heeft een hoge hitte- en corrosieweerstand, wat een grote stabiliteit heeft in extreme omgevingen.

Scherpstelring â
Semicorex levert met siliciumcarbide gecoate scherpstelring is echt stabiel voor RTA, RTP of agressieve chemische reiniging.

Wafer Chuck â
Semicorex ultraplatte keramische vacuümwafelhouders zijn met een hoge zuiverheid SiC-gecoat in het waferverwerkingsproces.