Als professionele fabrikant willen wij u graag halfgeleidercomponenten leveren. Semicorex is uw partner voor verbetering in halfgeleiderverwerking. Onze siliciumcarbidecoatings zijn compact, bestand tegen hoge temperaturen en chemicaliën en worden vaak gebruikt in de hele cyclus van de productie van halfgeleiders, inclusief de verwerking van halfgeleiderwafels en -wafels en de fabricage van halfgeleiders.
Zeer zuivere SiC-gecoate componenten zijn cruciaal voor processen in de halfgeleider. Ons aanbod varieert van grafietverbruiksartikelen voor hete zones met kristalgroei (verwarmers, kroeskroezen, isolatie) tot zeer nauwkeurige grafietcomponenten voor waferverwerkingsapparatuur, zoals met siliciumcarbide gecoate grafietkroezen voor Epitaxy of MOCVD.
Voordelen voor halfgeleiderprocessen
De fases van de afzetting van dunne films, zoals epitaxie of MOCVD, of verwerking van wafers, zoals etsen of ionenimplantatie, moeten hoge temperaturen en agressieve chemische reiniging ondergaan. Semicorex levert een zeer zuivere siliciumcarbide (SiC) gecoate grafietconstructie die superieure hittebestendigheid en duurzame chemische bestendigheid biedt, zelfs thermische uniformiteit voor een consistente dikte en weerstand van de epi-laag.
Kamerdeksels →
Kamerdeksels die worden gebruikt bij de kristalgroei en verwerking van wafels moeten hoge temperaturen en agressieve chemische reiniging doorstaan.
Eindeffector →
Eindeffector is de hand van de robot die halfgeleiderwafels beweegt tussen posities in waferverwerkingsapparatuur en dragers.
Inlaatringen →
SiC-gecoate gasinlaatring van MOCVD-apparatuur Verbindingsgroei heeft een hoge hitte- en corrosieweerstand, die een grote stabiliteit heeft in extreme omgevingen.
Scherpstelring →
Semicorex levert de focusring met siliciumcarbidecoating en is zeer stabiel voor RTA, RTP of agressieve chemische reiniging.
Wafer Chuck →
De ultraplatte keramische vacuümwafelhouders van Semicorex zijn voorzien van een zeer zuivere SiC-coating tijdens het wafelverwerkingsproces.
Semicorex SiC-procesbuizen zijn gemaakt van zeer zuiver SiC-keramiek met CVD SiC-coating, het is geschikt voor horizontale ovens in halfgeleiders. Gezien de productkwaliteit en after-sales service is Semicorex degene die kwalitatief hoogstaand zaken wil doen met onze wereldwijde klanten.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex High Purity SiC Cantilever Paddle is gemaakt van zeer zuiver gesinterd SiC-keramiek, dat een structureel onderdeel is in een horizontale oven in halfgeleiders. Semicorex is een ervaren bedrijf dat SiC-componenten levert in de halfgeleiderindustrie.*
Lees verderStuur onderzoekMonokristallijn silicium planair doelwit van Semicorex is een cruciaal onderdeel in de geavanceerde halfgeleiderindustrie. Het is vervaardigd uit monokristallijn siliciummateriaal van topkwaliteit en beschikt over een zeer geordende kristalstructuur en opmerkelijke zuiverheid. Deze eigenschappen maken het een ideale oplossing voor de productie van betrouwbare, hoogwaardige halfgeleiderfilms en optische films.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex siliciumcassetteboten zijn gespecialiseerde dragers vervaardigd uit 99,9999999% hoogzuiver monokristallijn en polykristallijn silicium, vooral gericht op de productie van hoge halfgeleiders. Als u voor Semicorex kiest, profiteert u van betrouwbare kwaliteit, maatwerk en verhoogde productiviteit.
Lees verderStuur onderzoekOp maat gemaakte poreuze keramische boorkop is de superieure oplossing voor het klemmen en bevestigen van werkstukken, exclusief ontworpen voor de productie van halfgeleiders. Als u voor Semicorex kiest, profiteert u van betrouwbare kwaliteit, maatwerk en verhoogde productiviteit.
Lees verderStuur onderzoekEenkristalsilicium douchekop, bekend als de gassproeikop of gasverdeelplaat, is een veelgebruikt gasdistributieapparaat in halfgeleiderproductieprocessen voor belangrijke processtappen zoals reinigen, etsen en depositie. Hoogwaardige en kosteneffectieve douchekop van monokristallijn silicium is essentieel om de precisie en kwaliteit van de chipproductie in de halfgeleiderindustrie te verbeteren.
Lees verderStuur onderzoek