Als professionele fabrikant willen wij u graag halfgeleidercomponenten leveren. Semicorex is uw partner voor verbetering in halfgeleiderverwerking. Onze siliciumcarbidecoatings zijn compact, bestand tegen hoge temperaturen en chemicaliën en worden vaak gebruikt in de hele cyclus van de productie van halfgeleiders, inclusief de verwerking van halfgeleiderwafels en -wafels en de fabricage van halfgeleiders.
Zeer zuivere SiC-gecoate componenten zijn cruciaal voor processen in de halfgeleider. Ons aanbod varieert van grafietverbruiksartikelen voor hete zones met kristalgroei (verwarmers, kroeskroezen, isolatie) tot zeer nauwkeurige grafietcomponenten voor waferverwerkingsapparatuur, zoals met siliciumcarbide gecoate grafietkroezen voor Epitaxy of MOCVD.
Voordelen voor halfgeleiderprocessen
De fases van de afzetting van dunne films, zoals epitaxie of MOCVD, of verwerking van wafers, zoals etsen of ionenimplantatie, moeten hoge temperaturen en agressieve chemische reiniging ondergaan. Semicorex levert een zeer zuivere siliciumcarbide (SiC) gecoate grafietconstructie die superieure hittebestendigheid en duurzame chemische bestendigheid biedt, zelfs thermische uniformiteit voor een consistente dikte en weerstand van de epi-laag.
Kamerdeksels →
Kamerdeksels die worden gebruikt bij de kristalgroei en verwerking van wafels moeten hoge temperaturen en agressieve chemische reiniging doorstaan.
Eindeffector →
Eindeffector is de hand van de robot die halfgeleiderwafels beweegt tussen posities in waferverwerkingsapparatuur en dragers.
Inlaatringen →
SiC-gecoate gasinlaatring van MOCVD-apparatuur Verbindingsgroei heeft een hoge hitte- en corrosieweerstand, die een grote stabiliteit heeft in extreme omgevingen.
Scherpstelring →
Semicorex levert de focusring met siliciumcarbidecoating en is zeer stabiel voor RTA, RTP of agressieve chemische reiniging.
Wafer Chuck →
De ultraplatte keramische vacuümwafelhouders van Semicorex zijn voorzien van een zeer zuivere SiC-coating tijdens het wafelverwerkingsproces.
De CVD SiC-coating van Semicorex SiC Coating Heater biedt superieure prestaties bij het beschermen van verwarmingselementen tegen de agressieve, corrosieve en reactieve omgevingen die vaak voorkomen bij processen zoals Metal-Organic Chemical Vapour Deposition (MOCVD) en epitaxiale groei.**
Lees verderStuur onderzoekDe metalen douchekop, bekend als een gasverdeelplaat of gasdouchekop, is een cruciaal onderdeel dat op grote schaal wordt gebruikt in de productieprocessen van halfgeleiders. De primaire functie is het gelijkmatig verdelen van gassen in een reactiekamer, zodat halfgeleidermaterialen uniform in contact komen met het proces gassen.**
Lees verderStuur onderzoekDe MOCVD Heater van Semicorex is een zeer geavanceerd en zorgvuldig ontworpen onderdeel dat een groot aantal voordelen biedt, waaronder uitzonderlijke chemische zuiverheid, thermische efficiëntie, elektrische geleidbaarheid, hoge emissiviteit, corrosieweerstand, inoxideerbaarheid en mechanische sterkte.**
Lees verderStuur onderzoek