Als professionele fabrikant willen wij u graag halfgeleidercomponenten leveren. Semicorex is uw partner voor verbetering in halfgeleiderverwerking. Onze siliciumcarbidecoatings zijn compact, bestand tegen hoge temperaturen en chemicaliën en worden vaak gebruikt in de hele cyclus van de productie van halfgeleiders, inclusief de verwerking van halfgeleiderwafels en -wafels en de fabricage van halfgeleiders.
Zeer zuivere SiC-gecoate componenten zijn cruciaal voor processen in de halfgeleider. Ons aanbod varieert van grafietverbruiksartikelen voor hete zones met kristalgroei (verwarmers, kroeskroezen, isolatie) tot zeer nauwkeurige grafietcomponenten voor waferverwerkingsapparatuur, zoals met siliciumcarbide gecoate grafietkroezen voor Epitaxy of MOCVD.
Voordelen voor halfgeleiderprocessen
De fases van de afzetting van dunne films, zoals epitaxie of MOCVD, of verwerking van wafers, zoals etsen of ionenimplantatie, moeten hoge temperaturen en agressieve chemische reiniging ondergaan. Semicorex levert een zeer zuivere siliciumcarbide (SiC) gecoate grafietconstructie die superieure hittebestendigheid en duurzame chemische bestendigheid biedt, zelfs thermische uniformiteit voor een consistente dikte en weerstand van de epi-laag.
Kamerdeksels →
Kamerdeksels die worden gebruikt bij de kristalgroei en verwerking van wafels moeten hoge temperaturen en agressieve chemische reiniging doorstaan.
Eindeffector →
Eindeffector is de hand van de robot die halfgeleiderwafels beweegt tussen posities in waferverwerkingsapparatuur en dragers.
Inlaatringen →
SiC-gecoate gasinlaatring van MOCVD-apparatuur Verbindingsgroei heeft een hoge hitte- en corrosieweerstand, die een grote stabiliteit heeft in extreme omgevingen.
Scherpstelring →
Semicorex levert de focusring met siliciumcarbidecoating en is zeer stabiel voor RTA, RTP of agressieve chemische reiniging.
Wafer Chuck →
De ultraplatte keramische vacuümwafelhouders van Semicorex zijn voorzien van een zeer zuivere SiC-coating tijdens het wafelverwerkingsproces.
Semicorex monokristallijne siliciumelektroden dienen zowel als elektroden als als etsgaspaden tijdens het waferetsproces. Semicorex monokristallijne siliciumelektroden zijn de onmisbare siliciumcomponenten die speciaal zijn ontworpen voor de hoogwaardige halfgeleideretsproductie, die kunnen helpen de precisie en uniformiteit van het etsen te verbeteren.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex Cantilever Paddles zijn nauwkeurig ontworpen componenten die zijn ontworpen voor halfgeleiderverwerkingstoepassingen bij hoge temperaturen en hoge zuiverheid. Semicorex levert hoogwaardige Cantilever Paddles om te voldoen aan de veeleisende eisen van geavanceerde waferhanterings- en thermische beheersystemen.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex silicium etsringen zijn precisie-ringvormige etscomponenten vervaardigd uit hoogzuiver monokristallijn silicium. Het zijn de essentiële siliciumonderdelen die worden gebruikt in de plasma-etsapparatuur en speciaal zijn ontworpen voor het creëren van optimale plasma-etsomstandigheden. Kies voor Semicorex, kies voor de hoogwaardige siliconen etsringen.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex-ovenbuizen voor LPCVD zijn nauwkeurig vervaardigde buiscomponenten met uniforme en dichte CVD SiC-coating. Speciaal ontworpen voor het geavanceerde chemische dampdepositieproces onder lage druk, kunnen Semicorex-ovenbuizen voor LPCVD geschikte reactieomgevingen met hoge temperatuur en lage druk bieden om de kwaliteit en opbrengst van de dunnefilmdepositie van wafers te verbeteren.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex CVD SiC-gecoate ovenbuizen zijn hoogwaardige buiscomponenten die speciaal zijn vervaardigd voor halfgeleiderverwerking bij hoge temperaturen, zoals oxidatie, diffusie en uitgloeien van halfgeleiderwafels. Door gebruik te maken van geavanceerde verwerkingstechnologieën en volwassen productie-ervaring, streeft Semicorex ernaar om de nauwkeurig bewerkte CVD SiC-gecoate ovenbuizen van marktleidende kwaliteit te leveren aan onze gewaardeerde klanten.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SiC-procesbuizen zijn gemaakt van zeer zuiver SiC-keramiek met CVD SiC-coating, het is geschikt voor horizontale ovens in halfgeleiders. Gezien de productkwaliteit en after-sales service is Semicorex degene die kwalitatief hoogstaand zaken wil doen met onze wereldwijde klanten.*
Lees verderStuur onderzoek