Semicorex is uw partner voor verbetering in halfgeleiderverwerking. Onze siliciumcarbidecoatings zijn compact, bestand tegen hoge temperaturen en chemicaliën, en worden vaak gebruikt in de hele cyclus van de productie van halfgeleiders, inclusief de verwerking van halfgeleiderwafels en -wafels en de fabricage van halfgeleiders.
Zeer zuivere SiC-keramische componenten zijn cruciaal voor processen in de halfgeleider. Ons aanbod varieert van verbruiksartikelen voor waferverwerkingsapparatuur, zoals siliciumcarbide-waferboot, cantilever-peddels, buizen, enz. voor Epitaxy of MOCVD.
Voordelen voor halfgeleiderprocessen
De fases van de afzetting van dunne films, zoals epitaxie of MOCVD, of verwerking van wafers, zoals etsen of ionenimplantatie, moeten hoge temperaturen en agressieve chemische reiniging ondergaan. Semicorex levert een zeer zuivere siliciumcarbide (SiC) constructie die superieure hittebestendigheid en duurzame chemische bestendigheid biedt, zelfs thermische uniformiteit voor consistente epi-laagdikte en weerstand.
Kamerdeksels →
Kamerdeksels die worden gebruikt bij de kristalgroei en verwerking van wafels moeten hoge temperaturen en agressieve chemische reiniging doorstaan.
Cantileverpeddel →
Cantilever Paddle is een cruciaal onderdeel dat wordt gebruikt in halfgeleiderproductieprocessen, met name in diffusie- of LPCVD-ovens tijdens processen zoals diffusie en RTP.
Procesbuis →
Process Tube is een cruciaal onderdeel, specifiek ontworpen in verschillende halfgeleiderverwerkingstoepassingen zoals RTP en diffusie.
Waferboten →
Wafer Boat wordt gebruikt bij de verwerking van halfgeleiders en is zorgvuldig ontworpen om ervoor te zorgen dat de delicate wafers veilig worden bewaard tijdens de kritieke productiefasen.
Inlaatringen →
SiC-gecoate gasinlaatring van MOCVD-apparatuur Verbindingsgroei heeft een hoge hitte- en corrosieweerstand, die een grote stabiliteit heeft in extreme omgevingen.
Scherpstelring →
Semicorex levert de focusring met siliciumcarbidecoating en is zeer stabiel voor RTA, RTP of agressieve chemische reiniging.
Wafer Chuck →
De ultraplatte keramische vacuümwafelhouders van Semicorex zijn voorzien van een zeer zuivere SiC-coating tijdens het wafelverwerkingsproces.
Semicorex heeft ook keramische producten in aluminiumoxide (Al2O3), siliciumnitride (Si3N4), aluminiumnitride (AIN), zirkoniumoxide (ZrO2), composietkeramiek, enz.
Semicorex Aln-kachels zijn geavanceerde keramische verwarmingselementen die zijn ontworpen voor krachtige thermische toepassingen. Deze kachels bieden uitzonderlijke thermische geleidbaarheid, elektrische isolatie en weerstand tegen chemische en mechanische stress, waardoor ze ideaal zijn voor het eisen van industriële en wetenschappelijke toepassingen. Aln -kachels zorgen voor precieze en uniforme verwarming, waardoor efficiënt thermisch beheer wordt gewaarborgd in omgevingen die een hoge betrouwbaarheid en duurzaamheid vereisen.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex siliciumcarbideboten zijn krachtige wafersdragers die zijn ontworpen voor halfgeleideroxidatie- en diffusieprocessen. Deze precisie-ontworpen componenten bieden een stabiele, hoogzuivere omgeving voor siliciumwafels in ovenbuizen, waardoor optimale procesbetrouwbaarheid en efficiëntie worden gewaarborgd. *
Lees verderStuur onderzoekSemicorex koolstof keramische remblokken bieden uitzonderlijke sterkte, hittebestendigheid en betrouwbare remprestaties in alle omstandigheden, waardoor ze de ideale keuze zijn voor krachtige voertuigen, motorsport, luchtvaart en motorfietsen. *
Lees verderStuur onderzoekSemicorex C/SIC-remmen bieden een lichtgewicht, krachtige remoplossing met uitzonderlijke hittebestendigheid, duurzaamheid en consistente prestaties, waardoor ze ideaal zijn voor voertuigen en ruimtevaarttoepassingen.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SIC keramisch membraan is een ideale oplossing voor industrieën die efficiënte, duurzame en precieze filtratie vereisen. Het kiezen van Semicorex betekent samenwerken met een vertrouwde expert die zich inzet voor het bieden van keramische membraantechnologie van hoge kwaliteit, innovatieve oplossingen en uitstekende klantenondersteuning.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SIC-membranen zijn krachtige keramische filtratieoplossingen die zijn ontworpen om te voldoen aan de meest veeleisende industriële toepassingen met uitzonderlijke duurzaamheid, chemische weerstand en thermische stabiliteit. Als leider in geavanceerde materiaaltechnologie blijft Semicorex de grenzen van innovatie verleggen, waardoor SIC-membranen van superieure kwaliteit worden geleverd die nieuwe industrienormen bepalen.*
Lees verderStuur onderzoek