Semicorex is uw partner voor verbetering in halfgeleiderverwerking. Onze siliciumcarbidecoatings zijn compact, bestand tegen hoge temperaturen en chemicaliën, en worden vaak gebruikt in de hele cyclus van de productie van halfgeleiders, inclusief de verwerking van halfgeleiderwafels en -wafels en de fabricage van halfgeleiders.
Zeer zuivere SiC-keramische componenten zijn cruciaal voor processen in de halfgeleider. Ons aanbod varieert van verbruiksartikelen voor waferverwerkingsapparatuur, zoals siliciumcarbide-waferboot, cantilever-peddels, buizen, enz. voor Epitaxy of MOCVD.
Voordelen voor halfgeleiderprocessen
De fases van de afzetting van dunne films, zoals epitaxie of MOCVD, of verwerking van wafers, zoals etsen of ionenimplantatie, moeten hoge temperaturen en agressieve chemische reiniging ondergaan. Semicorex levert een zeer zuivere siliciumcarbide (SiC) constructie die superieure hittebestendigheid en duurzame chemische bestendigheid biedt, zelfs thermische uniformiteit voor consistente epi-laagdikte en weerstand.
Kamerdeksels →
Kamerdeksels die worden gebruikt bij de kristalgroei en verwerking van wafels moeten hoge temperaturen en agressieve chemische reiniging doorstaan.
Cantileverpeddel →
Cantilever Paddle is een cruciaal onderdeel dat wordt gebruikt in halfgeleiderproductieprocessen, met name in diffusie- of LPCVD-ovens tijdens processen zoals diffusie en RTP.
Procesbuis →
Process Tube is een cruciaal onderdeel, specifiek ontworpen in verschillende halfgeleiderverwerkingstoepassingen zoals RTP en diffusie.
Waferboten →
Wafer Boat wordt gebruikt bij de verwerking van halfgeleiders en is zorgvuldig ontworpen om ervoor te zorgen dat de delicate wafers veilig worden bewaard tijdens de kritieke productiefasen.
Inlaatringen →
SiC-gecoate gasinlaatring van MOCVD-apparatuur Verbindingsgroei heeft een hoge hitte- en corrosieweerstand, die een grote stabiliteit heeft in extreme omgevingen.
Scherpstelring →
Semicorex levert de focusring met siliciumcarbidecoating en is zeer stabiel voor RTA, RTP of agressieve chemische reiniging.
Wafer Chuck →
De ultraplatte keramische vacuümwafelhouders van Semicorex zijn voorzien van een zeer zuivere SiC-coating tijdens het wafelverwerkingsproces.
Semicorex heeft ook keramische producten in aluminiumoxide (Al2O3), siliciumnitride (Si3N4), aluminiumnitride (AIN), zirkoniumoxide (ZrO2), composietkeramiek, enz.
Semicorex SiC-gecoate gasafleidingsschijven zijn de onmisbare grafietcomponenten die worden toegepast in de epitaxiale halfgeleiderapparatuur en speciaal zijn ontworpen om de reactiegasstroom te reguleren en een uniforme gasverdeling in de reactiekamer te bevorderen. Kies Semicorex, kies de optimale gasomleidingsoplossingen voor hoogwaardige epitaxiale resultaten.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SiC Wafer Carrier is gemaakt van zeer zuiver siliciumcarbide-keramiek, door middel van 3D-printtechnologie, wat betekent dat het binnen korte tijd zeer kostbare bewerkingscomponenten kan realiseren. Semicorex wordt geacht de gekwalificeerde producten van hoge kwaliteit aan onze wereldwijde klanten te leveren.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex CVD SiC-gecoate bovengrondringen zijn de essentiële ringvormige componenten die speciaal zijn ontworpen voor de geavanceerde plasma-etsapparatuur. Als toonaangevende leverancier van halfgeleidercomponenten richt Semicorex zich op het leveren van hoogwaardige, duurzame en ultraschone CVD SiC-gecoate bovengrondringen om onze gewaardeerde klanten te helpen de operationele efficiëntie en de algehele productkwaliteit te verbeteren.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SiC-afdichtingen zijn hoogwaardige mechanische vlakcomponenten die zijn ontworpen om superieure slijtvastheid, thermische stabiliteit en universele chemische inertheid te bieden in de meest veeleisende omgevingen met roterende apparatuur. Semicorex is een professionele leverancier van SiC-keramisch materiaal, die uiterst nauwkeurige producten voor wereldwijde klanten kan leveren.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SiC Pedestal is een zeer nauwkeurige, multifunctionele hardwarecomponent die is ontworpen om de thermische stabiliteit en ingewikkelde vloeistofverdeling te bieden die nodig zijn voor geavanceerde microkanaalreactiesystemen. Semicorex is gespecialiseerd in de engineering en levering van deze hoogzuivere SiC-containers volgens de wensen van de klant.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex aluminiumoxide wafelpolijstplaten zijn de hoogwaardige polijstcomponenten gemaakt van aluminiumoxide-keramiek, die speciaal zijn ontworpen voor het wafelpolijstproces in de hoogwaardige halfgeleiderindustrie. Als u voor Semicorex kiest, kiest u voor producten met een kosteneffectieve prijs, uitzonderlijke duurzaamheid en zeer efficiënte verwerkingsprestaties.
Lees verderStuur onderzoek