Semicorex is uw partner voor verbetering in halfgeleiderverwerking. Onze siliciumcarbidecoatings zijn compact, bestand tegen hoge temperaturen en chemicaliën, en worden vaak gebruikt in de hele cyclus van de productie van halfgeleiders, inclusief de verwerking van halfgeleiderwafels en -wafels en de fabricage van halfgeleiders.
Zeer zuivere SiC-keramische componenten zijn cruciaal voor processen in de halfgeleider. Ons aanbod varieert van verbruiksartikelen voor waferverwerkingsapparatuur, zoals siliciumcarbide-waferboot, cantilever-peddels, buizen, enz. voor Epitaxy of MOCVD.
Voordelen voor halfgeleiderprocessen
De fases van de afzetting van dunne films, zoals epitaxie of MOCVD, of verwerking van wafers, zoals etsen of ionenimplantatie, moeten hoge temperaturen en agressieve chemische reiniging ondergaan. Semicorex levert een zeer zuivere siliciumcarbide (SiC) constructie die superieure hittebestendigheid en duurzame chemische bestendigheid biedt, zelfs thermische uniformiteit voor consistente epi-laagdikte en weerstand.
Kamerdeksels →
Kamerdeksels die worden gebruikt bij de kristalgroei en verwerking van wafels moeten hoge temperaturen en agressieve chemische reiniging doorstaan.
Cantileverpeddel →
Cantilever Paddle is een cruciaal onderdeel dat wordt gebruikt in halfgeleiderproductieprocessen, met name in diffusie- of LPCVD-ovens tijdens processen zoals diffusie en RTP.
Procesbuis →
Process Tube is een cruciaal onderdeel, specifiek ontworpen in verschillende halfgeleiderverwerkingstoepassingen zoals RTP en diffusie.
Waferboten →
Wafer Boat wordt gebruikt bij de verwerking van halfgeleiders en is zorgvuldig ontworpen om ervoor te zorgen dat de delicate wafers veilig worden bewaard tijdens de kritieke productiefasen.
Inlaatringen →
SiC-gecoate gasinlaatring van MOCVD-apparatuur Verbindingsgroei heeft een hoge hitte- en corrosieweerstand, die een grote stabiliteit heeft in extreme omgevingen.
Scherpstelring →
Semicorex levert de focusring met siliciumcarbidecoating en is zeer stabiel voor RTA, RTP of agressieve chemische reiniging.
Wafer Chuck →
De ultraplatte keramische vacuümwafelhouders van Semicorex zijn voorzien van een zeer zuivere SiC-coating tijdens het wafelverwerkingsproces.
Semicorex heeft ook keramische producten in aluminiumoxide (Al2O3), siliciumnitride (Si3N4), aluminiumnitride (AIN), zirkoniumoxide (ZrO2), composietkeramiek, enz.
Semicorex siliciumnitrideplaten zijn zeer sterkte keramische substraten die zijn ontworpen om uitzonderlijke thermische prestaties en mechanische betrouwbaarheid voor geavanceerde vermogensmodules te leveren. Het kiezen van Semicorex betekent profiteren van precisieproductie, strikte kwaliteitscontrole en expertise op het gebied van materiaaltechniek die zorgen voor consistente prestaties, zelfs in de meest veeleisende applicaties.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SiC verticale boot is een krachtige wafer drager die is ontworpen voor gebruik in verticale ovenprocessen, die uitzonderlijke stabiliteit, netheid en duurzaamheid bieden. Kies Semicorex voor compromisloze kwaliteit, precisieproductie en bewezen betrouwbaarheid in de thermische verwerking van halfgeleider.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SIC-buizen zijn krachtige siliciumcarbide keramische componenten die zijn ontworpen voor halfgeleideroventoepassingen, die uitzonderlijke thermische, mechanische en chemische stabiliteit leveren in veeleisende procesomgevingen. Kies Semicorex voor precisie-ontwikkelde SiC-buizen die zorgen voor een consistente kwaliteit, langdurige levensduur van de services en maximale ovenefficiëntie.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex horizontale kamerovensische boten zijn hoge zuivere siliciumcarbide drager ontworpen voor veilige wafers tijdens horizontale ovenverwerking op hoge temperatuur. Het kiezen van semicorex betekent profiteren van precieze engineering, uitzonderlijke duurzaamheid en superieure thermische prestaties voor consistente productie van hoge rendementen.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex Silicon Carbide Scanning Mirrors leveren uitzonderlijke precisie, snelheid en stabiliteit voor de meest veeleisende optische scantapplicaties. Kies Semicorex voor ongeëvenaarde expertise in SIC-engineering, met op maat gemaakte geometrieën, premium coatings en bewezen betrouwbaarheid in krachtige optische systemen.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SIC-spiegels zijn krachtige siliciumcarbide optische componenten die zijn ontworpen voor extreme precisie in toepassingen zoals optische scansystemen, lithografie en op de ruimte gebaseerde telescopen. Kies Semicorex voor onze geavanceerde productie -expertise, aanpasbare ontwerpen en uitzonderlijke oppervlakteafwerking die zorgen voor ongeëvenaarde stabiliteit, reflectiviteit en betrouwbaarheid in de meest veeleisende omgevingen.*
Lees verderStuur onderzoek