SiC-coating is een dunne laag op de susceptor door middel van het proces van chemische dampafzetting (CVD). Siliciumcarbidemateriaal biedt een aantal voordelen ten opzichte van silicium, waaronder 10x de doorslag elektrische veldsterkte, 3x de bandafstand, waardoor het materiaal bestand is tegen hoge temperaturen en chemicaliën, uitstekende slijtvastheid en thermische geleidbaarheid.
Semicorex biedt service op maat, helpt u te innoveren met componenten die langer meegaan, cyclustijden verkorten en opbrengsten verbeteren.
SiC-coating heeft verschillende unieke voordelen
Bestand tegen hoge temperaturen: CVD SiC-gecoate susceptor is bestand tegen hoge temperaturen tot 1600°C zonder significante thermische degradatie te ondergaan.
Chemische weerstand: De siliciumcarbide coating biedt uitstekende weerstand tegen een breed scala aan chemicaliën, waaronder zuren, basen en organische oplosmiddelen.
Slijtvastheid: De SiC-coating geeft het materiaal een uitstekende slijtvastheid, waardoor het geschikt is voor toepassingen met hoge slijtage.
Thermische geleidbaarheid: De CVD SiC-coating geeft het materiaal een hoge thermische geleidbaarheid, waardoor het geschikt is voor gebruik in toepassingen bij hoge temperaturen die een efficiënte warmteoverdracht vereisen.
Hoge sterkte en stijfheid: de met siliciumcarbide gecoate susceptor geeft het materiaal een hoge sterkte en stijfheid, waardoor het geschikt is voor toepassingen die een hoge mechanische sterkte vereisen.
SiC-coating wordt in verschillende toepassingen gebruikt
LED-productie: CVD SiC-gecoate susceptor wordt gebruikt bij de fabricage van verschillende LED-typen, waaronder blauwe en groene LED, UV-LED en diep-UV-LED, vanwege de hoge thermische geleidbaarheid en chemische weerstand.
Mobiele communicatie: CVD SiC gecoate susceptor is een cruciaal onderdeel van de HEMT om het GaN-op-SiC epitaxiale proces te voltooien.
Halfgeleiderverwerking: CVD SiC-gecoate susceptor wordt in de halfgeleiderindustrie gebruikt voor verschillende toepassingen, waaronder waferverwerking en epitaxiale groei.
SiC-gecoate grafietcomponenten
Gemaakt door Silicium Carbide Coating (SiC) grafiet, wordt de coating aangebracht door een CVD-methode op specifieke soorten grafiet met hoge dichtheid, zodat het kan werken in de hogetemperatuuroven met meer dan 3000 °C in een inerte atmosfeer, 2200 °C in vacuüm .
De speciale eigenschappen en de lage massa van het materiaal zorgen voor snelle opwarmsnelheden, gelijkmatige temperatuurverdeling en uitstekende regelnauwkeurigheid.
Materiaalgegevens van Semicorex SiC Coating
Typische eigenschappen |
Eenheden |
Waarden |
Structuur |
|
FCC β fase |
oriëntatie |
Fractie (%) |
111 voorkeur |
Bulkdichtheid |
g/cm³ |
3.21 |
Hardheid |
Vickers-hardheid |
2500 |
Warmte capaciteit |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Thermische uitzetting 100-600 °C (212-1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Young's Modulus |
Gpa (4pt bocht, 1300â) |
430 |
Korrelgrootte |
μm |
2~10 |
Sublimatie temperatuur |
℃ |
2700 |
Felexurale kracht |
MPa (RT 4-punts) |
415 |
Warmtegeleiding |
(W/mK) |
300 |
Conclusie CVD SiC-gecoate susceptor is een composietmateriaal dat de eigenschappen van een susceptor en siliciumcarbide combineert. Dit materiaal heeft unieke eigenschappen, waaronder hoge temperatuur- en chemische weerstand, uitstekende slijtvastheid, hoge thermische geleidbaarheid en hoge sterkte en stijfheid. Deze eigenschappen maken het een aantrekkelijk materiaal voor verschillende toepassingen bij hoge temperaturen, waaronder de verwerking van halfgeleiders, chemische verwerking, warmtebehandeling, de productie van zonnecellen en de productie van leds.
Semicorex Silicon Carbide Boat Holder is een gespecialiseerd product vervaardigd uit SiC-materiaal, zorgvuldig ontworpen voor toepassingen in industrieën zoals fotovoltaïsche energie, elektronica en halfgeleiders. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex Solar Graphite Boat, een nauwkeurig ontworpen waferhouder die is ontworpen om te voldoen aan de veeleisende eisen van halfgeleiderverwerking bij hoge temperaturen. Deze innovatieve boot is gemaakt van hoogwaardig grafiet en biedt ongeëvenaarde thermische stabiliteit en duurzaamheid, waardoor optimale prestaties worden gegarandeerd in zelfs de meest veeleisende ovenomgevingen. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex Support Crucible vormt een cruciaal onderdeel binnen het ingewikkelde proces van zonne-siliciumkristalgroei en dient als een stevige basis voor de transformatie van grondstoffen in hoogwaardige siliciumstaven die bestemd zijn voor fotovoltaïsche toepassingen. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex Barrel Susceptor met SiC-coating is een geavanceerde oplossing die is ontworpen om de efficiëntie en precisie van epitaxiale siliciumprocessen te verbeteren. Deze vatsusceptor met SiC-coating is vervaardigd met nauwgezette aandacht voor detail en is op maat gemaakt om te voldoen aan de veeleisende eisen van de halfgeleiderproductie. Hij dient als de optimale waferhouder en vergemakkelijkt de naadloze overdracht van warmte naar wafers. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex SiC Barrel For Silicon Epitaxy is ontworpen om te voldoen aan de veeleisende eisen van toegepaste materialen en LPE-eenheden. Deze tonvormige susceptor is vervaardigd met precisie en innovatie en vervaardigd uit hoogwaardig SiC-gecoat grafiet, wat uitzonderlijke prestaties en duurzaamheid garandeert bij siliciumepitaxietoepassingen. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex Graphite Susceptor met SiC-coating is een essentieel onderdeel ontworpen voor siliciumepitaxieprocessen in Applied Materials en LPE-eenheden (Liquid Phase Epitaxy). Deze susceptor is gemaakt van hoogwaardig grafietmateriaal gecoat met siliciumcarbide (SiC) en zorgt voor superieure prestaties en een lange levensduur in halfgeleiderproductieomgevingen. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoek