TaC-coatinggrafiet wordt gemaakt door het oppervlak van een zeer zuiver grafietsubstraat te coaten met een fijne laag tantaalcarbide door middel van een gepatenteerd Chemical Vapour Deposition (CVD) proces.
Tantaalcarbide (TaC) is een verbinding die bestaat uit tantaal en koolstof. Het heeft een metallische elektrische geleidbaarheid en een uitzonderlijk hoog smeltpunt, waardoor het een vuurvast keramisch materiaal is dat bekend staat om zijn sterkte, hardheid en hitte- en slijtvastheid. Het smeltpunt van Tantalum Carbides piekt op ongeveer 3880°C, afhankelijk van de zuiverheid, en heeft een van de hoogste smeltpunten onder de binaire verbindingen. Dit maakt het een aantrekkelijk alternatief wanneer hogere temperatuureisen de prestatiemogelijkheden overschrijden die worden gebruikt in epitaxiale processen van samengestelde halfgeleiders zoals MOCVD en LPE.
Materiaalgegevens van Semicorex TaC Coating
|
Projecten |
Parameters |
|
Dikte |
14,3 (g/cm³) |
|
Emissiviteit |
0.3 |
|
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
Hardheid (HK) |
2000 |
|
Weerstand (Ohm-cm) |
1×10-5 |
|
Thermische stabiliteit |
<2500℃ |
|
Grafiet dimensieverandering |
-10~-20um (referentiewaarde) |
|
Laagdikte |
≥20um typische waarde (35um±10um) |
|
|
|
|
Bovenstaande zijn typische waarden |
|
Semicorex poreuze tantaalcarbideringen zijn hoogwaardige vuurvaste componenten die speciaal zijn ontworpen voor het Physical Vapor Transport (PVT) proces van siliciumcarbide (SiC) kristalgroei, met een monolithische gesinterde structuur die uitzonderlijke thermische stabiliteit en gecontroleerde gasdoorlaatbaarheid biedt.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex TaC-gecoate grafietwafelsusceptors zijn de geavanceerde componenten die doorgaans worden toegepast om de halfgeleiderwafels stabiel te ondersteunen en te positioneren tijdens de geavanceerde epitaxiale halfgeleiderprocessen. Door gebruik te maken van de modernste productietechnologieën en volwassen productie-ervaring, streeft Semicorex ernaar om de op maat gemaakte TaC-gecoate grafietwafer-susceptoren van marktleidende kwaliteit te leveren aan onze gewaardeerde klanten.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex CVD TaC gecoate susceptors zijn hoogwaardige grafiet susceptors met een dichte TaC-coating, ontworpen om uitstekende thermische uniformiteit en corrosieweerstand te leveren voor veeleisende epitaxiale SiC-groeiprocessen. Semicorex combineert geavanceerde CVD-coatingtechnologie met strikte kwaliteitscontrole om langdurige, weinig verontreinigingsgevoelige susceptoren te bieden die worden vertrouwd door wereldwijde SiC epi-fabrikanten.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex tantaalcarbide gecoate geleidingsringen zijn de hoogwaardige ringcomponenten die worden gebruikt in de halfgeleiderkristalgroeiapparatuur. Ze zijn speciaal ontworpen om tijdens de kristalgroei een geschikte temperatuurgradiënt en stabiele luchtstroomomgeving te creëren. Door te kiezen voor Semicorex tantaalcarbide gecoate geleidingsringen profiteert u van een ongeëvenaarde coatingtechnologie en een zeer efficiënte en stabiele productie-ervaring.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex TaC gecoate grafietkroes wordt gemaakt door de Tantalum Carbide coating grafiet via de CVD-methode, het meest geschikte materiaal dat wordt toegepast in het halfgeleiderproductieproces. Semicorex is een bedrijf dat consequent gespecialiseerd is in CVD-keramische coating en de beste materiaaloplossingen biedt in de halfgeleiderindustrie.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex TaC gecoate componenten in epitaxiale groei is een kostbaar machinaal bewerkt onderdeel dat zich in de luchtinlaat in het epitaxiale proces in halfgeleiders bevindt. Semicorex is een topbedrijf dat gespecialiseerd is in CVD TaC-coatingtechnologie in China en producten wereldwijd exporteert.*
Lees verderStuur onderzoek