TaC-coatinggrafiet wordt gemaakt door het oppervlak van een zeer zuiver grafietsubstraat te coaten met een fijne laag tantaalcarbide door middel van een gepatenteerd Chemical Vapour Deposition (CVD) proces.
Tantaalcarbide (TaC) is een verbinding die bestaat uit tantaal en koolstof. Het heeft een metallische elektrische geleidbaarheid en een uitzonderlijk hoog smeltpunt, waardoor het een vuurvast keramisch materiaal is dat bekend staat om zijn sterkte, hardheid en hitte- en slijtvastheid. Het smeltpunt van Tantalum Carbides piekt op ongeveer 3880°C, afhankelijk van de zuiverheid, en heeft een van de hoogste smeltpunten onder de binaire verbindingen. Dit maakt het een aantrekkelijk alternatief wanneer hogere temperatuureisen de prestatiemogelijkheden overschrijden die worden gebruikt in epitaxiale processen van samengestelde halfgeleiders zoals MOCVD en LPE.
Materiaalgegevens van Semicorex TaC Coating
|
Projecten |
Parameters |
|
Dikte |
14,3 (g/cm³) |
|
Emissiviteit |
0.3 |
|
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
Hardheid (HK) |
2000 |
|
Weerstand (Ohm-cm) |
1×10-5 |
|
Thermische stabiliteit |
<2500℃ |
|
Grafiet dimensieverandering |
-10~-20um (referentiewaarde) |
|
Laagdikte |
≥20um typische waarde (35um±10um) |
|
|
|
|
Bovenstaande zijn typische waarden |
|
Semicorex TaC gecoate componenten in epitaxiale groei is een kostbaar machinaal bewerkt onderdeel dat zich in de luchtinlaat in het epitaxiale proces in halfgeleiders bevindt. Semicorex is een topbedrijf dat gespecialiseerd is in CVD TaC-coatingtechnologie in China en producten wereldwijd exporteert.*
Lees verderStuur onderzoekMet TaC gecoate zaadkristalhouder is een hoogwaardige component die speciaal is ontworpen voor de groeiomgeving van halfgeleidermaterialen. Als toonaangevende fabrikant van met TTaC gecoate zaadkristalhouders biedt semicorex u efficiënte kerncomponentoplossingen op het gebied van de hoogwaardige halfgeleiderproductie.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex TaC Coating Pedestal Supporter is een cruciaal onderdeel ontworpen voor epitaxiale groeisystemen, specifiek op maat gemaakt voor het ondersteunen van reactorsokkels en het optimaliseren van de distributie van procesgasstromen. Semicorex levert een hoogwaardige, nauwkeurig ontworpen oplossing die superieure structurele integriteit, thermische stabiliteit en chemische bestendigheid combineert, waardoor consistente, betrouwbare prestaties bij geavanceerde epitaxietoepassingen worden gegarandeerd.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex CVD TaC gecoate susceptor is een eersteklas oplossing ontworpen voor MOCVD epitaxiale processen en biedt uitstekende thermische stabiliteit, zuiverheid en corrosieweerstand onder extreme procesomstandigheden. Semicorex richt zich op nauwkeurig ontworpen coatingtechnologie die consistente waferkwaliteit, langere levensduur van componenten en betrouwbare prestaties in elke productiecyclus garandeert.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex TaC gecoate smeltkroezen zijn hoogwaardige containers ontworpen voor toepassingen bij extreme temperaturen, geschikt voor zowel het smelten van metalen als geavanceerde halfgeleiderprocessen. Kiezen voor Semicorex betekent toegang krijgen tot de allernieuwste coatingtechnologie en technische expertise die uitzonderlijke zuiverheid, duurzaamheid en stabiliteit bieden in de meest veeleisende omgevingen.*
Lees verderStuur onderzoekSemicorex TaC gecoate planetaire plaat is een uiterst nauwkeurig onderdeel ontworpen voor epitaxiale groei van MOCVD, met planetaire beweging met meerdere waferzakken en geoptimaliseerde gasstroomregeling. Kiezen voor Semicorex betekent toegang krijgen tot geavanceerde coatingtechnologie en technische expertise die uitzonderlijke duurzaamheid, zuiverheid en processtabiliteit bieden voor de halfgeleiderindustrie.*
Lees verderStuur onderzoek