TaC-coatinggrafiet wordt gemaakt door het oppervlak van een zeer zuiver grafietsubstraat te coaten met een fijne laag tantaalcarbide door middel van een eigen Chemical Vapour Deposition (CVD)-proces.
Tantaalcarbide (TaC) is een verbinding die bestaat uit tantaal en koolstof. Het heeft een metalen elektrische geleidbaarheid en een uitzonderlijk hoog smeltpunt, waardoor het een vuurvast keramisch materiaal is dat bekend staat om zijn sterkte, hardheid en hitte- en slijtvastheid. Het smeltpunt van tantaalcarbiden piekt bij ongeveer 3880°C, afhankelijk van de zuiverheid, en heeft een van de hoogste smeltpunten onder de binaire verbindingen. Dit maakt het een aantrekkelijk alternatief wanneer hogere temperatuurvereisten de prestatiemogelijkheden overschrijden die worden gebruikt in epitaxiale processen van samengestelde halfgeleiders, zoals MOCVD en LPE.
Materiaalgegevens van Semicorex TaC Coating
Projecten |
Parameters |
Dikte |
14,3 (g/cm³) |
Emissiviteit |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Hardheid (HK) |
2000 |
Weerstand (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Thermische stabiliteit |
<2500€ |
Verandering van grafietdimensie |
-10~-20um (referentiewaarde) |
Bekledingsdikte |
¥20um typische waarde (35um±10um) |
|
|
Bovenstaande zijn typische waarden |
|
Semicorex TaC Coating Chuck, de geavanceerde vacuümklauwplaat uitgerust met TaC-coatings, speciaal ontworpen voor halfgeleiderovens. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekU kunt er zeker van zijn dat u TaC Coating Epitaxial Plate in onze fabriek koopt. Epitaxiale plaat met Semicorex TaC-coating (Tantalum Carbide) beschikt over een uitzonderlijke hittebestendigheid, waardoor deze ideaal is voor toepassingen die worden blootgesteld aan hoge temperaturen. Het opmerkelijke vermogen om hitte te weerstaan, zorgt voor duurzaamheid en betrouwbaarheid in veeleisende omgevingen. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex TaC Coated Plate is een gespecialiseerde schijf ontworpen voor gebruik in epitaxiale SiC-processen, met precisie vervaardigd uit hoogwaardig grafietmateriaal. Het oppervlak is zorgvuldig bedekt met tantaalcarbide (TaC), een verbinding die bekend staat om zijn uitzonderlijke zuiverheid en sterkte. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex TaC Coating Jig vormt een cruciaal onderdeel binnen het productieproces van halfgeleiders, zorgvuldig vervaardigd uit grafiet en versterkt met een veerkrachtige laag tantaalcarbide coating. Dit cruciale uitrustingselement belichaamt een samensmelting van geavanceerde materiaalwetenschap en precisie-engineering, ontworpen om te voldoen aan strenge operationele eisen en veeleisende normen die gangbaar zijn bij de fabricage van halfgeleiders. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex TaC Coating Susceptor vertegenwoordigt een toppunt in materiaaltechniek, zorgvuldig vervaardigd uit hoogwaardig grafiet en versterkt met een tantaalcarbidecoating. Dit innovatieve onderdeel is voornamelijk ontworpen voor gebruik binnen SiC-kristalgroei en SiC-epitaxiale processen en staat als een baken van duurzaamheid en prestaties in extreme thermische en chemische omgevingen. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoekSemicorex Tantalum Carbide Coated Ring is een cruciaal onderdeel dat wordt gebruikt bij de verwerking van halfgeleiders. Het is ontworpen met een gespecialiseerde coating die meerdere functies vervult om de efficiëntie en levensduur van grafietcomponenten in halfgeleidermachines te verbeteren. Semicorex streeft ernaar kwaliteitsproducten te leveren tegen concurrerende prijzen. We kijken ernaar uit om uw langetermijnpartner in China te worden.
Lees verderStuur onderzoek