Kamerdeksels worden gebruikt om een schone, inerte en beschermde omgeving in depositiekamers te creëren, zodat ze worden blootgesteld aan plasma en hoge temperaturen tijdens depositie- of etsprocessen. Semicorex-kamerdeksels zijn duurzame keramische componenten gecoat met siliciumcarbide met behulp van de chemische dampafzettingsmethode (CVD), ideaal om deze uitdagende omgevingen te weerstaan.