Kamerdeksels worden gebruikt om een schone, inerte en beschermde omgeving in depositiekamers te creëren, zodat ze worden blootgesteld aan plasma en hoge temperaturen tijdens depositie- of etsprocessen. Semicorex-kamerdeksels zijn duurzame keramische componenten gecoat met siliciumcarbide met behulp van de chemische dampafzettingsmethode (CVD), ideaal om deze uitdagende omgevingen te weerstaan.
Semicorex SIC-deksel is een siliciumcarbidecomponent met hoge zuiverheid die is ontworpen voor extreme halfgeleiderverwerkingsomgevingen. Het kiezen van semicorex betekent zorgen voor ongeëvenaarde materiaalkwaliteit, precisie -engineering en aangepaste oplossingen die worden vertrouwd door toonaangevende fabrikanten van halfgeleiders wereldwijd.*
Lees verderStuur onderzoek