Geleidend gecoate grafietverwarmers

DeGeleidende gecoate grafietverwarmingis een nieuw product dat is ontworpen voor halfgeleiderverwerking op hoge temperatuur en andere thermische vacuümsystemen. Het maakt gebruik van de goede thermische stabiliteit van grafiet met hoge zuiverheid en de uitstekende oppervlaktekenmerken van een siliciumcarbide (SIC) coating. Geleidende gecoate grafietverwarming wordt verder onderscheiden door zijn stikstof-gedoteerde SIC-laag die een sterk verbeterde oppervlaktegeleidbaarheid biedt, waardoor het bijzonder geschikt is voor toepassingen die gecontroleerd en zelfs worden verwarmd met grote elektrische prestaties.

De kachel is geconstrueerd met een hoogwaardig grafietsubstraat, dat fungeert als de structurele en thermische geleider van de kern. Het grafiet werd gekozen, met name gezien de hoge niveaus van thermische geleidbaarheid, lage thermische expansiecoëfficiënt en veerkracht tegen thermische schok. Deze kenmerken maken van grafiet een geschikt basismateriaal in procestoepassingen op hoge temperatuur waar mogelijk snelle verwarmings- en koelcycli kunnen zijn. Pristine grafiet zelf is echter chemisch reactief in bepaalde atmosferen en kan oppervlakteschade of afbraak, deeltjesemissie of overdracht tijdens uitgebreid gebruik ervaren, vooral in de cleanroomomgevingen van halfgeleider.

Om deze beperkingen te overwinnen, is het grafietgedeelte gecoat met een dikke, hoge zuivere SIC-laag. De SIC -coating bedient meerdere functies: het biedt een niveau van bescherming tegen oxidatie en chemische corrosie, het biedt een zeer hard, slijtvast oppervlak en zorgt voor compatibiliteit met vacuüm- en cleanroomnormen. SIC heeft een reputatie voor extreme hardheid, hoge thermische geleidbaarheid en chemische inertie; Om deze reden is het een uitstekend coatingmateriaal voor krachtige thermische componenten.

De unieke innovatie van dit product is de stikstofdoping van de SIC -coating. Tijdens het proces van chemische dampafzetting (CVD) worden stikstofatomen ingebed in het SIC -rooster, waardoor vrije dragers worden geproduceerd, die de oppervlakteweerstand dramatisch kunnen verminderen, en daarom een geleidende oppervlaktelaag kunnen creëren en de stroom direct kunnen passeren, in plaats van een toegangspunt te gebruiken, door de SIC -coating, waardoor de hele grafietcomponent wordt geactiveerd als een weerstands element.

KlassiekSic coatingszijn isolatief, wat ze echt beperkt in de reikwijdte van actieve elektrische toepassingen. Omgekeerd heeft de stikstof-gedoteerde SIC-laag op de verwarming een extreem lage oppervlaktebestendigheid, terwijl het nog steeds alle mechanische en chemische voordelen van klassieke SIC behoudt. De geleidende laag biedt een zeer goede stroomuniformiteit en minimaliseert het vermogensverlies terwijl de thermische verdeling op het kacheloppervlak wordt verbeterd. Het is met name ideaal voor precisieverwarmingstoepassingen onder omstandigheden die vaak worden geassocieerd met epitaxiale reactoren, diffusieversten en snelle thermische verwerking (RTP) -apparatuur.

De verwarmingsgeometrie, typisch spiraal- of serpentijn zoals weergegeven in het beeld, is ontworpen en geoptimaliseerd met de bedoeling uniforme thermische uitgangsenergie en uniforme elektrische belasting te produceren. Met het geïntegreerde ontwerp van het grafiet en geleidende SIC -coating kunnen elektrische contacten rechtstreeks op het gecoate oppervlak worden gemaakt, waardoor de noodzaak voor extra elektroden of metaalverbinding wordt geëlimineerd. Dit vermindert verontreinigingsrisico's en resulteert in een eenvoudiger assemblage. Bijgevolg is de algehele efficiëntie verbeterd.

Belangrijkste voordelen van de geleidingenSiC-gecoate grafietverwarmingerbij betrekken:

Uitstekende elektrische geleidbaarheid als gevolg van stikstofdotering, waardoor directe stroom en efficiënte weerstandsverwarming mogelijk is.

Superieure thermische uniformiteit met precieze temperatuurregeling over het gehele oppervlak.

Hoge chemische resistentie, met name in corrosieve omgevingen zoals waterstof, ammoniak of halogeenrijke atmosferen.

Minimale deeltjesgeneratie, die voldoen aan de stringente zuiverheidseisen van halfgeleiderfabricage.

Lange levensduur, vanwege de mechanische duurzaamheid en thermische schokweerstand van zowel de grafietkern als de SIC -coating.

De toepassingen voor deze kachel strekken zich uit over een aantal geavanceerde technologie -industrieën. De kachel vindt een plaats in de productieprocessen van halfgeleiders zoals chemische dampafzetting (CVD), moleculaire bundelpitaxie (MBE) en gloeien van wafers, waar precieze temperatuurregeling en zuiverheid van materialen kritisch zijn. De SiC-gecoate grafietverwarming kan ook worden gebruikt bij fotovoltaïsche productie, sinteren van geavanceerd keramiek en in andere thermische processen waar hogere prestaties, duurzaamheid en robuuste kachels vereist zijn.

Samenvattend is de geleidende SiC-gecoate grafietverwarming een indrukwekkende vooruitgang in de ontwikkeling van thermische componenten. Door een stikstof-gedoteerde SIC-coating te gebruiken, hebben we een effectief thermisch product ontwikkeld, dat met succes de chemische stabiliteit van de SIC-coating combineert met elektrische geleidbaarheid. Het produceren van een thermisch proces dat efficiënter, schoner en betrouwbaarder is voor de meest veeleisende industriële toepassingen. De halfgeleider- en materiaalindustrie worden geconfronteerd met voortdurende verandering en dit soort hybride materialen zullen steeds belangrijker worden om toekomstige meer geavanceerde technologieën voor productie mogelijk te maken.

Semicorex biedt hoogwaardigeGrafietverwarmers met coatingProducten. Als u vragen heeft of aanvullende details nodig hebt, aarzel dan niet om contact met ons op te nemen.

Neem contact op met telefoon # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com