Wat is de inkeping op wafels?

De waferinkeping is een V-vormige of U-vormige groef op de rand van eenhalfgeleider wafeltje. Het is verre van een defect dat tijdens het productieproces is opgelopen, maar het is de kritische structurele marker die opzettelijk is ontworpen en waarvan de kernfunctie ligt in het mogelijk maken van nauwkeurige positionering en oriëntatie-identificatie van de wafer. Wafer plat werd gebruikt als oriëntatiemarkering in de vroege stadia van de ontwikkeling van wafertechnologie. Naarmate de afmetingen van de wafels echter geleidelijk toenamen, nam het ontwerp met de platte rand een effectiever gebied in beslag, waardoor het geleidelijk werd vervangen door de compactere inkeping.

Wat is de functie van de wafelkerf? 

Chipproductie is een proces op nanometerschaal, waarbij elke richtingsafwijking kan leiden tot circuitstoringen. De wafer-inkeping dient als oriëntatiemarkering en zorgt ervoor dat lithografie- en etsmachines snel de kristaloriëntatie van de wafer kunnen identificeren, waardoor een nauwkeurige uitlijning van elke processtap wordt gegarandeerd. Elke chip wordt op de wafer geplaatst volgens een inkeping, vergelijkbaar met de nulmeridiaan. Dankzij dit ingenieuze ontwerp kunnen schakelpatronen worden gelithografeerd en uitgezet met de inkeping als referentiepunt. Bovendien vertrouwen robotarmen op de wafer-inkeping om de voor-/achterkant en oriëntatie van de wafer te onderscheiden in een sterk geautomatiseerde productielijn, wat schade aan de wafer of procesfouten als gevolg van verkeerde bediening aanzienlijk voorkomt. Mocht de inkeping vervuild of beschadigd raken, dan kan de gehele wafel als niet-conform worden afgewezen.

De wafer-notch speelt ook een cruciale rol bij het verbeteren van de productieopbrengst van chips. Omdat wafelranden tijdens de productie gevoelig zijn voor defecten zoals sliplijnen en scheuren, zorgt de nauwkeurige positionering via inkepingen ervoor dat apparatuur deze defecte gebieden nauwkeurig kan vermijden, waardoor verspilling wordt verminderd. Moderne productielijnen maken ook gebruik van technologieën zoals rotatie van de luchtvering voor randzoekoperaties. De wafer-inkeping dient als marker voor contactloze detectie en voorkomt niet alleen verontreiniging veroorzaakt door mechanisch contact, maar verbetert ook de identificatie-efficiëntie en nauwkeurigheid.

Semicorex biedthoogwaardige wafels. Als u vragen heeft of aanvullende informatie nodig heeft, aarzel dan niet om contact met ons op te nemen.

Neem contact op met telefoonnummer +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com