Wat is de functie van focusringen?

Focusringen zijn de essentiële componenten om de uniformiteit en stabiliteit van de halfgeleideretsprocessen te garanderen. Door nauwkeurige controle van elektrische en thermische velden kunnen focusringen plasma concentreren op het waferoppervlak, waardoor consistente etsresultaten op alle locaties op de wafer worden gegarandeerd.

De functies van focusringen

1. Verbeter de etsuniformiteit

Tijdens het etsproces kunnen focusringen het plasma concentreren op dewafeltjeoppervlak, dat effectief een uniforme plasmadichtheid, ionenbombardementshoek en energieniveaus over zowel de rand van de wafel als de middengebieden garandeert. Ze corrigeren de verdeling van het elektrische veld aan de rand van de wafel, waardoor de etssnelheid, de kritische dimensie en morfologievariaties veroorzaakt door randeffecten worden verminderd, waardoor de etsconsistentie over het gehele wafeloppervlak wordt gegarandeerd. Als de focusseringsring overmatig versleten is of als er geen focussering is, zal plasma diffunderen vanaf de rand van de wafel, wat uiteindelijk niet-conforme afwijkingen in de lijnbreedte tussen de rand- en middengebieden veroorzaakt.

2. Bescherm de elektrostatische boorkop

Focusringen worden meestal buiten het wafeldrageroppervlak van de elektrostatische klauwplaten geïnstalleerd, waar ze direct worden blootgesteld aan plasmabombardementen en corrosie. Deze installatie fungeert als fysieke barrière om te voorkomen dat plasma tijdens het etsproces in contact komt met de elektrostatische klauwplaten, waardoor het risico op plasmaschade aanzienlijk wordt verminderd. Focusringen kunnen ook voorkomen dat bijproducten die tijdens het etsproces worden gegenereerd, zich aan de elektrostatische klauwplaten hechten, waardoor prestatieverlies als gevolg van vervuiling en verstopping van de klauwplaat wordt voorkomen. Dit verlengt de onderhoudscyclus en levensduur van de elektrostatische klauwplaten aanzienlijk, waardoor de onderhouds- en vervangingskosten van de apparatuur worden verlaagd.

Focusringen worden gewoonlijk gemaakt van hoge zuiverheidkwarts, siliciumEnsiliciumcarbidematerialen. Dankzij hun uitstekende uitgebreide prestaties worden siliciumcarbidematerialen geleidelijk de mainstreamoptie voor geavanceerde etsprocessen. Als vertrouwde leverancier van halfgeleiderfocusringen in China biedt Semicorex hoogwaardige kwaliteitfocusringen van siliciumcarbidevan verschillende maten om te voldoen aan de verschillende vereisten van etsapparatuur. Semicorex verwelkomt uw vragen en aankopen op elk moment.