Poreuze aluminiumoxide vacuümhouder

De vacuümklauwplaat wordt via een verbindingsbuis met de vacuümapparatuur verbonden. Wanneer de vacuümklauwplaat in contact komt met het werkstuk, zoals een wafel/dun filmmateriaal, begint de vacuümapparatuur te werken, waardoor er een negatieve druk ontstaat in de vacuümklauwplaat. Onder atmosferische druk hecht het werkstuk zich stevig aan de vacuümspanplaat, waardoor bewerking mogelijk is. Nadat de verwerking is voltooid, stopt de vacuümapparatuur met werken en vult de vacuümklauwplaat langzaam met gas, waardoor het werkstuk automatisch van de klauwplaat wordt gescheiden. Hiermee is het vastklemmen, bewerken en hanteren van het werkstuk voltooid.

Het kerndoel van halfgeleiderfotolithografie is het "printen" van miljarden transistorcircuitpatronen op een wafer met precisie op nanometerniveau. De essentie van "fotolithografie" is het gebruik van een lichtbron om zeer lichtgevoelige fotoresist te bestralen, waardoor een chemische reactie ontstaat die het circuit etst. Wanneer de lichtbron de wafer bestraalt, schijnt deze echter onvermijdelijk ook op de elektrostatische klem, die als waferdrager dient. Het resulterende gereflecteerde secundaire licht kan het fotolithografieproces verstoren, waardoor onbedoelde gebieden worden blootgesteld en de circuits worden beschadigd. Daarom minimaliseert een zwart oppervlak voor de vacuümklauwplaat de reflectie, waardoor de nauwkeurigheidseisen van het fotolithografiesysteem worden gewaarborgd. Op basis van deze mogelijkheid kan zwart aluminiumoxide op grote schaal worden gebruikt, niet alleen in elektrostatische klauwplaten, maar ook in "lichtonderdrukkende" scenario's. De komst van het AI-tijdperk heeft een aanzienlijke ontwikkeling mogelijk gemaakt op het gebied van optische communicatietoepassingen, en zwarte aluminiumoxidesubstraten worden vaak aangetroffen in de verpakkingen van opto-elektronische apparaten en lichtgevende elementen.

Zwart aluminiumoxide keramiekbestaat voornamelijk uit Al2O3, waaraan overgangsmetaaloxiden als kleurstoffen en sinterhulpmiddelen zijn toegevoegd, en is bij een specifieke temperatuur gesinterd. De kleurstof is een cruciaal onderdeel van dit type keramiek en bepaalt de uiteindelijke kleur. Bij het selecteren van kleurstoffen voor vacuümklauwplaten is het essentieel om de kleurgraad, mechanische sterkte, porositeit en poriegrootte van de vacuümklauwplaat te garanderen.

Tot de momenteel algemeen gebruikte overgangsmetaaloxiden als kleurstoffen, zowel nationaal als internationaal, behoren Fe2O3, CoO, NiO, Cr2O3 en MnO2, waarbij Fe2O3, CoO, NiO en MnO2 de meest voorkomende zijn. Omdat aluminiumoxide bij hoge temperaturen minder vluchtig is, terwijl overgangsmetaaloxiden het tegenovergestelde zijn, neemt hun vluchtigheid toe met de temperatuur. Deze oxiden vormen verbindingen van het spineltype tijdens het sinteren bij hoge temperatuur, waardoor hun vluchtigheid wordt verminderd. Om de vervluchtiging van overgangsmetaaloxiden te onderdrukken moeten daarom geschikte procesomstandigheden worden gekozen om het mogelijk te maken dat ze zich bij lagere temperaturen combineren tot verbindingen van het spineltype.

Semicorex biedt douane aanporeuze keramische vacuümklauwplaat. Als u vragen heeft of aanvullende informatie nodig heeft, aarzel dan niet om contact met ons op te nemen.

Neem contact op met telefoonnummer +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com