SiC-epitaxie

Er zijn twee soorten epitaxie: homogeen en heterogeen. Om SiC-apparaten met specifieke weerstand en andere parameters voor verschillende toepassingen te produceren, moet het substraat aan de voorwaarden van epitaxie voldoen voordat de productie kan beginnen. De kwaliteit van de epitaxie beïnvloedt de prestaties van het apparaat.

Er zijn momenteel twee belangrijke epitaxiale methoden. De eerste is homogene epitaxie, waarbij SiC-film wordt gegroeid op een geleidend SiC-substraat. Dit wordt voornamelijk gebruikt voor MOSFET, IGBT en andere hoogspanningshalfgeleidervelden. De tweede is hetero-epitaxiale groei, waarbij GaN-film wordt gegroeid op een semi-isolerend SiC-substraat. Dit wordt gebruikt voor GaN HEMT en andere laag- en middenspanningsvermogenshalfgeleiders, evenals voor radiofrequentie- en opto-elektronische apparaten.

Epitaxiale processen omvatten sublimatie of fysisch damptransport (PVT), moleculaire bundelepitaxie (MBE), vloeistoffase-epitaxie (LPE) en chemische dampfase-epitaxie (CVD). De reguliere SiC-homogene epitaxiale productiemethode maakt gebruik van H2 als draaggas, met silaan (SiH4) en propaan (C3H8) als de bron van Si en C. SiC-moleculen worden geproduceerd door een chemische reactie in de precipitatiekamer en afgezet op het SiC-substraat .

De belangrijkste parameters van SiC-epitaxie omvatten dikte en uniformiteit van de dopingconcentratie. Naarmate de stroomafwaartse spanning van het toepassingsscenario van het apparaat toeneemt, neemt de dikte van de epitaxiale laag geleidelijk toe en neemt de doteringsconcentratie af.

Een beperkende factor bij de constructie van SiC-capaciteit is epitaxiale apparatuur. Apparatuur voor epitaxiale groei wordt momenteel gemonopoliseerd door het Italiaanse LPE, het Duitse AIXTRON en het Japanse Nuflare en TEL. De leveringscyclus van reguliere SiC epitaxiale apparatuur voor hoge temperaturen is verlengd tot ongeveer 1,5-2 jaar.

Semicorex levert SiC-onderdelen voor halfgeleiderapparatuur, zoals LPE, Aixtron, enz. Als u vragen heeft of aanvullende informatie nodig heeft, aarzel dan niet om contact met ons op te nemen.

Neem contact op met telefoonnummer +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com