TaC-coating met CVD-methode

Tantaalcarbidecoating is een belangrijk, corrosiebestendig en chemisch stabiel constructiemateriaal voor hoge temperaturen met een smeltpunt tot 4273 °C, een van de verschillende verbindingen met de hoogste temperatuurbestendigheid. Het heeft uitstekende mechanische eigenschappen bij hoge temperaturen, weerstand tegen schurende luchtstromen bij hoge snelheid, ablatieweerstand en goede chemische en mechanische compatibiliteit met grafiet en koolstof/koolstofcomposieten. Daarom heeft de TaC-coating in het epitaxiale proces van GaN-LED's en SiC-vermogensapparaten zoals MOCVD een uitstekende zuur- en alkalibestendigheid tegen H2, HCl, NH3, wat het grafietsubstraatmateriaal volledig kan beschermen en de groeiomgeving kan zuiveren.

De TaC-coating blijft stabiel bij temperaturen boven 2000 °C, terwijl de SiC-coating begint te ontbinden bij 1200-1400 °C, wat ook de integriteit van het grafietsubstraat aanzienlijk zal verbeteren. Tantaalcarbidecoatings worden momenteel voornamelijk door CVD op grafietsubstraten bereid, en de productiecapaciteit van TaC-coatings zal verder worden uitgebreid om te voldoen aan de vraag naar SiC-vermogensapparaten en GaNLED's epitaxiale apparaten.

Het chemische reactiesysteem dat wordt gebruikt om tantaalcarbidecoatings op koolstofmaterialen af ​​te zetten door middel van chemische dampafzetting (CVD) is TaCl5, C3H6, H2 en Ar, waarbij Ar wordt gebruikt als verdunning en transportgas.

Tantaalcarbidecoatings spelen een cruciale rol in het epitaxiale proces van GaN-LED's en SiC-vermogensapparaten die gebruik maken van MOCVD. De geavanceerde materialen beschermen vitale componenten en garanderen een lange levensduur en prestaties onder de zware omstandigheden die gepaard gaan met de productie van halfgeleiders bij hoge temperaturen.

Nu de vraag naar SiC-vermogensapparaten en GaN-LED's blijft stijgen, zal de productiecapaciteit van tantaalcarbidecoatings toenemen. Fabrikanten staan ​​klaar om aan de groeiende eisen van deze industrieën te voldoen en de evolutie van hogetemperatuurtechnologie te faciliteren.

Ten slotte,tantaalcarbide coatingsvertegenwoordigen een ongelooflijke technologische sprong voorwaarts in het garanderen van de duurzaamheid en betrouwbaarheid van materialen in omgevingen met hoge temperaturen. Terwijl ze de halfgeleider- en vermogenselektronicasectoren blijven revolutioneren, onderstrepen deze coatings hun status als een cruciaal element van moderne hightech-ontwikkelingen.