Diverse toepassingen van kwarts bij de productie van halfgeleiders

Op het eerste gezicht,kwarts (SiO2) materiaallijkt erg op glas, maar het bijzondere is dat gewoon glas uit veel componenten bestaat (zoals kwartszand, borax, boorzuur, bariet, bariumcarbonaat, kalksteen, veldspaat, natriumcarbonaat enz.), terwijl kwarts alleen SiO2, en zijn microstructuur, is een eenvoudig netwerk dat bestaat uit tetraëdrische structurele eenheden van siliciumdioxide.

Omdat de hoeveelheid metaalverontreinigingen inkwartsis erg klein en de zuiverheid is extreem hoog, kwarts zelf heeft kenmerken en voordelen die andere glazen niet kunnen laten zien, en staat bekend als de "kroon" van glasmaterialen. In termen van hittebestendigheid zal kwarts bijvoorbeeld niet ontploffen, ook al wordt het onmiddellijk in water geplaatst nadat het rood is verbrand in het vuur. Meer specifieke voordelen zijn als volgt:

1. Bestand tegen hoge temperaturen. Het verwekingspunt van kwartsglas is ongeveer 1730℃, en het kan lange tijd worden gebruikt bij 1150℃, en de maximale temperatuur kan gedurende korte tijd 1450℃ bereiken.

2. Corrosiebestendigheid. Behalve fluorwaterstofzuur heeft zeer zuiver kwarts vrijwel geen chemische reactie met andere zure stoffen. Bij hoge temperaturen is het bestand tegen corrosie door zwavelzuur, salpeterzuur, zoutzuur, koningswater, neutrale zouten, koolstof en zwavel. De zuurbestendigheid is 30 keer die van keramiek en 150 keer die van roestvrij staal. Vooral de chemische stabiliteit bij hoge temperaturen is ongeëvenaard door andere technische materialen.

3. Goede thermische stabiliteit. Hoogzuiver kwarts heeft een zeer kleine thermische uitzettingscoëfficiënt en is bestand tegen drastische temperatuurveranderingen. Wanneer hoogzuiver kwarts wordt verwarmd tot ongeveer 1100 °C, zal het niet ontploffen als het in water op kamertemperatuur wordt geplaatst.

4. Goede lichtdoorlatendheid. Hoogzuiver kwarts heeft een goede lichttransmissie in het gehele spectrum, van ultraviolet tot infrarood, en de transmissie van zichtbaar licht bedraagt ​​meer dan 93%, vooral in het ultraviolette spectrumgebied kan de maximale transmissie meer dan 80% bereiken.

5. Goede elektrische isolatieprestaties. De weerstandswaarde van zeer zuiver kwarts is gelijk aan 10.000 keer die van gewoon kwartsglas. Het is een uitstekend elektrisch isolatiemateriaal en heeft goede elektrische eigenschappen, zelfs bij hoge temperaturen.

Dankzij deze uitstekende fysische en chemische eigenschappen worden hoogzuivere kwartsmaterialen op grote schaal gebruikt in de moderne elektronische technologie, halfgeleiders, communicatie, elektrische lichtbronnen, zonne-energie, uiterst nauwkeurige meetinstrumenten voor de nationale defensie, fysische en chemische laboratoriuminstrumenten, kernenergie, nano-industrie, enz. Vooral in de zich snel ontwikkelende halfgeleiderindustrie is de schaal van siliciumwafels toegenomen, waardoor chipfabrikanten een grote vraag hebben naar verschillende kwartscomponenten. Er moet echter ook worden opgemerkt dat om verontreiniging tijdens het verwerkingsproces te voorkomen, de hoge zuiverheid van het kwartsmateriaal tijdens gebruik moet worden gewaarborgd.

In de halfgeleiderindustrie iskwartswordt veel gebruikt en kwartsproducten met een hoge zuiverheid zijn belangrijke verbruiksartikelen bij de productie van wafels. Kwartsonderdelen zoals smeltkroezen, kristallen boten en kernbuizen van diffusieovens die worden gebruikt om eenkristallen van silicium te produceren, moeten kwartsglasproducten van hoge zuiverheid gebruiken. De belangrijkste doelmarkttoepassing van kwartsonderdelen op het gebied van halfgeleiders is het diffusie- en etsproces in de wafelgieterij. Ze kunnen worden onderverdeeld in twee categorieën: apparaten voor hoge temperatuurzones en apparaten voor lage temperatuurzones. De belangrijkste gebruikte apparaten zijn als volgt:

1. Apparaten voor hoge temperaturen zijn voornamelijk ovenbuizen, glazen boten, enz. Die worden gebruikt bij diffusie-oxidatie en andere schakels, die direct of indirect in contact moeten staan ​​met siliciumwafels in een omgeving met hoge temperaturen; het zijn hoofdzakelijk gekochte materialen van gesmolten kwartsglas en geproduceerd door middel van thermische verwerking;

2. Apparaten voor lage temperatuurzones omvatten voornamelijk kwartsringen die worden gebruikt bij het etsproces, evenals bloemenmanden en reinigingstanks die worden gebruikt bij het reinigingsproces. Ze worden voornamelijk gebruikt in omgevingen met lage temperaturen. Ze kopen voornamelijk gasgeraffineerd kwartsglas in en worden geproduceerd door middel van koude verwerking.

Semicorex biedt hoogwaardige kwaliteitkwarts onderdelenop halfgeleiderniveau. Als u vragen heeft of aanvullende informatie nodig heeft, aarzel dan niet om contact met ons op te nemen.

Neem contact op met telefoonnummer +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com