Waarom SiC-gecoate grafietsusceptors kiezen?

Grafiet susceptoris een van de essentiële onderdelen in de MOCVD-apparatuur, is de drager en de verwarmer van het wafersubstraat. De eigenschappen van thermische stabiliteit en thermische uniformiteit spelen een beslissende rol in de kwaliteit van de epitaxiale groei van de wafel, die direct de uniformiteit en zuiverheid van de laagmaterialen bepaalt, met als resultaat dat de kwaliteit ervan rechtstreeks van invloed is op de bereiding van epitaxie. Ondertussen, met de toename van het aantal toepassingen en veranderingen in arbeidsomstandigheden, is het heel gemakkelijk te verliezen en behoort het tot de verbruiksartikelen. De uitstekende thermische geleidbaarheid en stabiliteit van grafiet maken het een goed voordeeleen basiscomponent voor MOCVD-apparatuur. Als echter alleen puur grafiet wordt gebruikt, zal dit voor enkele problemen komen te staan. Er zullen corrosieve gassen en organische metaalresten in het productieproces zijn en de grafietbasis zal corroderen en het poeder laten vallen, wat de levensduur van degrafiet susceptor, en het gevallen grafietpoeder zal ook vervuiling van de chip veroorzaken, dus ook in het voorbereidingsproces van de basis. Deze problemen moeten worden opgelost tijdens de voorbereiding van de basis. De coatingtechnologie kan oppervlaktepoederfixatie bieden, de thermische geleidbaarheid verbeteren en de thermische distributie egaliseren, wat de belangrijkste technologie wordt om dit probleem op te lossen. De belangrijkste technologie is om dit probleem op te lossen. Volgens de toepassingsomgeving en vereisten vangrafiet susceptoren, moet de oppervlaktecoating de volgende kenmerken hebben.

Hoge dichtheden en volledige omhulling: de grafietbasis als geheel bevindt zich in een corrosieve werkomgeving met hoge temperaturen, het oppervlak moet volledig omwikkeld zijn, terwijl de coating goede dichtheden moet hebben om een ​​goede beschermende rol te spelen.

Goede vlakheid van het oppervlak: Aangezien de grafietbasis die wordt gebruikt voor monokristallijne groei een zeer hoge vlakheid van het oppervlak vereist, moet de oorspronkelijke vlakheid van de basis behouden blijven nadat de coating is voorbereid, d.w.z. het coatingoppervlak moet uniform zijn.

Goede hechtsterkte: het verminderen van het verschil in thermische uitzettingscoëfficiënt tussen grafietbasis en coatingmateriaal kan de hechtsterkte daartussen effectief verbeteren, en de coating is niet gemakkelijk te kraken na thermische cycli bij hoge en lage temperatuur.

Hoge thermische geleidbaarheid: Hoge kwaliteit spaangroei vereist een snelle en uniforme warmte van de grafietbasis, dus het coatingmateriaal moet een hoge thermische geleidbaarheid hebben.

Hoog smeltpunt, oxidatie- en corrosieweerstand bij hoge temperaturen: de coating moet stabiel kunnen werken in werkomgevingen met hoge temperaturen en corrosie.