Een diffusieoven is een gespecialiseerd apparaat dat wordt gebruikt om op een gecontroleerde manier onzuiverheden in halfgeleiderwafels te introduceren. Deze onzuiverheden, doteermiddelen genoemd, veranderen de elektrische eigenschappen van halfgeleiders, waardoor verschillende soorten elektronische......
Lees verderEr zijn twee soorten epitaxie: homogeen en heterogeen. Om SiC-apparaten met specifieke weerstand en andere parameters voor verschillende toepassingen te produceren, moet het substraat aan de voorwaarden van epitaxie voldoen voordat de productie kan beginnen. De kwaliteit van de epitaxie beïnvloedt d......
Lees verderBij de fabricage van halfgeleiders is etsen een van de belangrijkste stappen, naast fotolithografie en dunnefilmafzetting. Het gaat om het verwijderen van ongewenste materialen van het oppervlak van een wafer met behulp van chemische of fysische methoden. Deze stap wordt uitgevoerd na het coaten, fo......
Lees verder