TAC gecoat crucibel in SIC Crystal Growth

De afgelopen jaren,TAC gecoatGruisjes zijn een belangrijke technische oplossing geworden als reactievaten in het groeiproces van siliciumcarbide (SIC) kristallen. TAC -materialen zijn belangrijke materialen geworden op het gebied van siliciumcarbide kristalgroei vanwege hun uitstekende chemische corrosieweerstand en stabiliteit met hoge temperatuur. Vergeleken met traditionele grafietproducties, bieden TAC -gecoate smeltkroezen een stabielere groeiomgeving, verminderen de impact van grafietcorrosie, verleng de levensduur van de smeltkroes en vermijden effectief het fenomeen van koolstofverpakking, waardoor de dichtheid van microtubes wordt verminderd.

 Fig.1 SIC Crystal Growth

Voordelen en experimentele analyse van TAC-gecoate smeltkroes

In deze studie vergeleken we de groei van siliciumcarbidekristallen met behulp van traditionele grafiet smeltkroes en grafiet smeltkroes gecoat met TAC. De resultaten toonden aan dat TAC-gecoate smeltkroezen de kwaliteit van de kristallen aanzienlijk verbeteren.

Fig.2 OM -afbeelding van sic ingot Gegroeid door Pvt -methode

Figuur 2 illustreert dat siliciumcarbidekristallen die worden gekweekt in traditionele grafiet crucibles een concave interface vertonen, terwijl die gekweekt in TAC-gecoate smeltkroes een convexe interface vertonen. Bovendien, zoals te zien in figuur 3, wordt het rand polykristallijne fenomeen uitgesproken in kristallen die worden gekweekt met traditionele grafiet-smeltkroes, terwijl het gebruik van door TAC gecoate smeltkroes dit probleem effectief vermindert.

De analyse geeft aan dat deTAC -coatingVerhoogt de temperatuur aan de rand van de smeltkroes, waardoor de groeisnelheid van kristallen in dat gebied wordt verminderd. Bovendien voorkomt de TAC -coating direct contact tussen de grafiet zijwand en het kristal, wat helpt nucleatie te verminderen. Deze factoren verminderen gezamenlijk de kans op polykristalliniteit die zich aan de randen van het kristal voordoet.

Fig.3 OM -afbeeldingen van wafels in verschillende groeifasen

Bovendien zijn de siliciumcarbidekristallen gekweektMet TAC gecoatCrucibles vertoonden bijna geen koolstofinkapseling, een veel voorkomende oorzaak van micropipe -defecten. Als gevolg hiervan vertonen deze kristallen een significante vermindering van de dichtheid van de micropipe -defect. Corrosietestresultaten gepresenteerd in figuur 4 bevestigen dat kristallen die worden gekweekt in TAC-gecoate smeltkroezen vrijwel geen micropipe-defecten hebben.

Fig.4 OM -afbeelding na KOH -etsen

Verbetering van kristalkwaliteit en controle van onzuiverheid

Door middel van GDM's en Hall -tests van kristallen, bleek uit de studie dat het TA -gehalte in het kristal enigszins toenam wanneer TAC -gecoate smeltkroes werden gebruikt, maar de TAC -coating beperkte de ingang van stikstof (N) doping in het kristal aanzienlijk. Samenvattend kunnen TAC -gecoate smeltkroezen siliciumcarbidekristallen groeien met een hogere kwaliteit, vooral bij het verminderen van defectdichtheid (met name microtubes en koolstof encapsulatie) en het regelen van stikstofdoteringsconcentratie.

Semicorex biedt hoogwaardigeTAC-gecoat grafiet Cruciblevoor SIC Crystal Growth. Als u vragen heeft of aanvullende details nodig hebt, aarzel dan niet om contact met ons op te nemen.

Neem contact op met telefoon # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com