Halfgeleider keramische delen

Halfgeleider keramische delen behoren tot geavanceerd keramiek en vormen een onmisbaar onderdeel van het productieproces van het halfgeleider. De grondstoffen voor de bereiding zijn meestal hoge zuiverheid, ultrafijne anorganische materialen, zoals aluminiumoxide, siliciumcarbide, aluminiumnitride, siliciumnitride, yttriumoxide, zirkoniumoxide, enz.

Aluminiumoxide

Het wordt veel gebruikt en de productprestaties variëren afhankelijk van de zuiverheid. 95% zuiverheid is lichtgeel en 99% zuiverheid is sneeuwwit. Het heeft een uitstekende stijfheid, sterkte, slijtvastheid, hoge temperatuurweerstand en corrosieweerstand en kan worden gebruikt om de meeste halfgeleider keramische onderdelen te bereiden, zoals keramische sproeiers, keramische armen, enz.

Siliciumcarbide

Het is zwart, heeft een hoge thermische geleidbaarheid, hoge sterkte en hardheid, lichtgewicht, goede schokweerstand en wordt vaak gebruikt om vacuümarmen en vacuümzuigbekers te bereiden.

Aluminium nitride

Het heeft een hoge thermische geleidbaarheid, een thermische expansiecoëfficiënt die overeenkomt met silicium, een lage diëlektrische constante en diëlektrisch verlies, en kan worden gebruikt om warmte -dissipatie -substraten, keramische sproeiers, enz.

Siliciumnitride

Hoog smeltpunt, ultrahoge hardheid, hoge chemische inertie, lage thermische expansiecoëfficiënt, hoge thermische geleidbaarheid, goede thermische schokweerstand, hoge impactweerstand en sterkte onder 1200 ℃, vaak gebruikt om keramische substraten, keramische buizen, enz.

Yttriumoxide

Hoog smeltpunt, goede chemische en fotochemische stabiliteit, hoge thermische geleidbaarheid, goede lichttransmissie, vaak gecombineerd met aluminiumoxide om keramische ramen te maken.

Zirkoniumoxide

Hoge mechanische sterkte, hoge temperatuurweerstand, zuur en alkali -resistentie, goede isolatie, volgens verschillende inhoud kan worden gemaakt van keramische producten voor verschillende doeleinden, zoals geïntegreerde circuitsubstraten, enz.

Soorten onderdelen:

"All-Rounder" halfgeleider keramische onderdelen met verschillende functies worden veel gebruikt in verschillende soorten halfgeleidersleutelapparatuur, voornamelijk inclusief het volgende:

Halfgeleider keramische arm

Speelt een rol in halfgeleiderapparatuur bij het transport van wafels en moet werken in een vacuümschone omgeving. Meestal bereid met hoog zuiver aluminiumoxide of siliciumcarbide, is aluminiumoxide kosteneffectief en wordt meer gebruikt.

Keramisch substraat

Aangepast in verschillende elektronische verpakkingsvelden, zoals elektronische apparaten, lasers, enz., En wordt vaak bereid met materialen zoals aluminiumoxide en siliciumnitride.

Keramisch mondstuk

In HDP-CVD beïnvloedt de kwaliteit ervan de zuiverheid en stroomsnelheid van het reactiegas. Aluminium nitride keramiek is meer geschikt voor geavanceerde procesapparatuur vanwege hun uitstekende prestaties.

Keramisch venster

Het is een belangrijk onderdeel van de Semiconductor Etcher. Het kan vacuüm worden verzegeld zonder de plasma -penetratie te beïnvloeden. Het is meestal gemaakt van hoog zuiver aluminiumoxide en yttriumoxide.

Keramische kamerhoes

Het is een belangrijk onderdeel van de dunne filmafzettingapparatuur, wat cruciaal is om de kwaliteit van de wafel en het afdichten van de reactiekamer te waarborgen.

Keramische vacuüm chuck

Het wordt gebruikt om de siliciumwafel te positioneren en vast te klemmen. Het is een poreuze keramiek gemaakt van twee keramische materialen.

Voorbereidingsproces:

Het voorbereidingsproces van het "vakmanschap" halfgeleider keramische onderdelen is ingewikkeld, voornamelijk inclusief de volgende stappen:

Poederbereiding

De grondstoffen moeten opnieuw worden verwerkt en het ruwe poeder dat aan de vereisten voldoet, wordt verkregen door batching, mechanische balfrezen, spuitdrogen en andere processen.

Poederdolitie

Droge droge, isostatisch drukken, tape -gieten, spuitgieten, gelspuitgieten en andere methoden worden vaak gebruikt om het poeder in een keramisch groen lichaam te maken.

Hoge temperatuur sinteren

Het keramische groene lichaam wordt getransformeerd in een dicht gekookt lichaam door normale druk sinteren, stofzuiger sinteren, atmosfeer sinteren en andere methoden.

Precisiebewerking

Het gesinterde keramische gekookte lichaam wordt verwerkt met CNC -draaibanken, slijpmachines, enz. Om de vereiste grootte en precisie te bereiken.

Kwaliteitsinspectie

Het uiterlijk, de grootte, de porositeit, de ruwheid en andere eigenschappen van keramische onderdelen worden getest om de productkwaliteit te waarborgen.

Oppervlaktebehandeling

Het oppervlak van de producten die de kwaliteitsinspectie doorstaan, wordt gereinigd en verdere oppervlaktebehandeling is vereist voor speciale behoeften, zoals het spuiten van de boog, het spuiten van plasma, enz.

Semicorex biedt hoogwaardigekeramische delenin halfgeleider. Als u vragen heeft of aanvullende details nodig hebt, aarzel dan niet om contact met ons op te nemen.

Neem contact op met telefoon # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com