Silicium carbide wafel boot

Achter elk hoogtemperatuurproces in Wafer Manufacturing ligt een stille maar cruciale speler: de wafelboot. Als de kerndrager die rechtstreeks in contact komt met de siliciumwafer tijdens de wafelverwerking, zijn het materiaal, de stabiliteit en de netheid rechtstreeks gerelateerd aan de uiteindelijke chipopbrengst en processtabiliteit. Onder verschillende dragers materialen,Siliconencarbide (sic)Boten vervangen geleidelijk traditionele kwartsoplossingen en worden de voorkeursoplossing voor geavanceerde processen en hoogwaardige apparatuur.

Waarom sic wafer boten?

Met de vooruitgang van procesknooppunten onder 7 nm en de uitbreiding van ramen met hoge temperatuurprocessen, worstelen traditionele kwartswafelboten in toenemende mate in termen van thermische stabiliteit, deeltjesbesturing en levensduurbeheer.

Silicium carbide wafer boten wekken echter geleidelijk een bekendheid uit vanwege de volgende voordelen:

1.Stable bij hoge temperaturen:

Ze bieden langdurige bedrijfstemperaturen van 1350-1600 ° C en hanteren gemakkelijk reguliere processen zoals CVD, diffusie en gloeien. Zelfs korte blootstelling aan temperaturen van 1800 ° C vertoont geen verzachting of vervorming, waardoor ze geschikt zijn voor hogere apparatuur zoals siliciumcarbide-ovens met één kristal.

2. Laagse uitbreiding en hoge thermische schokstabiliteit:

Met een lage coëfficiënt van thermische expansie kunnen ze de snelle temperatuurstijgingen en dalingen weerstaan, waardoor het structurele barsten veroorzaakt door thermische stress minimaliseren. Ze behouden uitstekende morfologie en prestaties in hoge temperatuur, complexe atmosferen (zoals waterstof, stikstof, ammoniak en fluoriden).

3. Begaan oppervlak en extreem lage besmetting:

Hoge materiaalzuiverheid met minimale metaalonzuiverheden. Lage oppervlakteruwheid, het voorkomen van secundaire besmetting van siliciumwafels; Uitstekende controle van de oppervlakteruwheid, met RA onder 0,1μm, onderdrukt deeltjesafval en voldoet aan de cleanroom -eisen van geavanceerde processen;

4. Molden uit één stuk, Precisie-gemarkeerde wafer bootstructuren kunnen direct worden gevormd door schimmelloos3D -printen, het elimineren van de behoefte aan schimmels, het aanzienlijk verbeteren van de aanpassingsefficiëntie; Gecombineerd met machinaal met vijfassen en technologie voor het snijden van de draad, zijn de tanden van de boot braamvrij, waardoor krassen op de wafels worden voorkomen en een gladde geautomatiseerde afhandeling garanderen;

5. Hoge kracht en lang leven: 

Een enkele boot heeft een hoge belastingdragende sterkte en kan tegelijkertijd tientallen tot honderden 12-inch wafels ondersteunen. In vergelijking met traditionele kwartsboten is de gemiddelde levensduur van de boot 5-10 keer langer, waardoor de omschakingsfrequentie van apparatuur en de totale eigendomskosten vermindert.

Toepassingsscenario

Het brede aanpassingsvermogen vanSiliconen carbide wafer botenbreidt hun toepassing buiten het halfgeleiderveld uit tot een verscheidenheid aan processcenario's op hoge temperatuur, waaronder nieuwe energiematerialen, LED-productie en onderzoek van kernenergie.

Halfgeleiderindustrie

Het is geschikt voor belangrijke processen zoals oxidatie, diffusie, CVD-depositie en ionenimplantatie, waardoor het een onmisbare drager met hoge temperatuur voor sub-7 NM-proceslijnen is.

Fotovoltaïsche industrie

In opkomende batterijtechnologieën zoals TopCon en HJT worden wafersboten gebruikt in ovenprocessen op de hoge temperatuur zoals LPCVD en gloeien, waardoor energie-efficiëntie en conversiepercentages worden verbeterd.

Halfgeleiders van de derde generatie

Voor GAN- en SIC -epitaxiale groeiprocessen in LED's ondersteunen ze sapphire- of siliciumcarbide -substraten. Ze zijn bestand tegen corrosieve gassen zoals NH₃ en HCL, ter ondersteuning van de productie van hoogfrequente vermogensapparaten.

Nieuw energiemateriaal en onderzoeksplatform voor hoge temperatuur

Ondersteunt de sinterreactie van lithiumbatterijkathodematerialen en de warmtebehandeling van materialen van de nucleaire industrie, het combineren van hittebestendigheid, corrosieweerstand en netheid.

Semicorex biedt hoge zuiverheidAangepaste SIC -wafelboten. Als u vragen heeft of aanvullende details nodig hebt, aarzel dan niet om contact met ons op te nemen.

Neem contact op met telefoon # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com