Structurele verschillen tussen verschillende soorten reactoren

Op basis van de configuratie van de reactiekamer wordt warmtebehandelingsapparatuur (ovenbuisapparatuur) hoofdzakelijk onderverdeeld in drie categorieën: verticale ovenbuizen, horizontale ovenbuizen en snelle thermische verwerkingsovens (RTP).

Verticale ovenbuizen hebben verticaal geplaatste kwartsbuizen, waarbij de wafels rond de buizen zijn geplaatst voor verwarming. Hun belangrijkste voordelen zijn een uniforme temperatuurverdeling, nauwkeurige atmosfeercontrole, hoge automatisering, minder vervuiling door deeltjes, een kleine footprint en ondersteuning voor batchverwerking (vooral geschikt voor 12-inch wafers), waardoor ze de reguliere apparatuur zijn die momenteel beschikbaar is. De mondiale marktomvang bedroeg in 2024 3,2 miljard dollar (SEMI-gegevens). Hun nadelen zijn onder meer de gemakkelijke scheiding van gas en vloeistof, en de neerwaartse stroming van het medium, waardoor de ovenbuis mogelijk kan doorbranden.

Horizontale ovenbuizen hebben horizontaal geplaatste kwartsbuizen, die 100-200 wafels tegelijk verwerken. Hun voordelen zijn onder meer een uniforme gas-vloeistofstroom in de ovenbuis en een nauwkeurigere temperatuurregeling. Hun nadelen zijn onder meer een grotere voetafdruk en een hoger verbruik van tussenbuissteunen van hooggelegeerd staal. Structureel plaatsen horizontale ovenbuizen de wafels verticaal in horizontale buizen voor verwerking.

Ovens voor snelle thermische ontlating (RTP) maken gebruik van halogeen-infraroodlampen om afzonderlijke wafels snel te verwarmen, waardoor snelle verwarmings- en koelsnelheden worden geboden die alleen de wafeltemperatuur veranderen zonder de kamertemperatuur te veranderen. Ze zijn geschikt voor snelgloeien in kleine batches, maar niet voor massaproductie.

Bij de verwerking van wafels plaatsen horizontale ovenbuizen de wafel op een kwartsboot, die op zijn beurt rust op een steunframe van siliciumcarbide (SiC). Het steunframe wordt vervolgens in de kwartsovenbuis geduwd, waar de wafel de reactie ondergaat in een zone met constante temperatuur. Verticale ovenbuizen daarentegen plaatsen de wafel op een kwartstoren en heffen deze langzaam op in de kwartsovenbuis voor verwerking. Na de reactie wordt de wafel langzaam neergelaten om buigen of breken te voorkomen.

Semicorex levert hoogwaardig maatwerkkwartsovenreactor. Onze producten zijn ontworpen om superieure thermische stabiliteit, langere levensduur en uitzonderlijke procesconsistentie te leveren. Voor oplossingen op maat of aanvullende technische informatie kunt u gerust contact opnemen met ons engineeringteam.

Telefoon: +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com