Tantaalcarbide coatings in de halfgeleiderindustrie

De ontwikkeling van krachtige blauwe en UV-LED's heeft de creatie mogelijk gemaakt van full-color LED-tv-schermen, evenals witte LED-auto- en huishoudelijke verlichting. Deze LED's zijn gebaseerd op galliumnitride, dat wordt afgezet op substraatwafels ondersteund door een CVD SiC-gecoate grafiet susceptor met behulp van het MOCVD-proces. De SiC-coating wordt echter aangetast door het ammoniakgas dat in het proces wordt gebruikt, waardoor de levensduur ervan wordt verkort. Om de levensduur van coatings te verlengen en de totale kosten te verlagen, heeft de industrie behoefte aan een nieuwe, meer inerte coatingoptie. Tantaalcarbide wordt als vervanging overwogen, omdat het de weerstand tegen deze agressieve atmosfeer aanzienlijk kan vergroten en een oplossing kan bieden die momenteel niet beschikbaar is. Semicorex verkoopt CVD TaC-gecoate grafietonderdelen aan leveranciers in de halfgeleiderindustrie.

Onze TaC-gecoate grafietproducten staan ​​bekend om hun superieure hittebestendigheid in vergelijking met SiC-gecoate grafietproducten. Als gevolg hiervan worden ze in de volksmond gebruikt bij de verwerking van halfgeleiders, zoals het epitaxiale proces van SiC-wafels, die bij hogere temperaturen worden gebruikt. De vraag naar onze producten neemt toe in lijn met de marktgroei.

Semicorex biedt hoogwaardige TaC-gecoate grafietonderdelen met service op maat. Als u vragen heeft of aanvullende informatie nodig heeft, aarzel dan niet om contact met ons op te nemen.

Neem contact op met telefoonnummer +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com