Coating op thermisch gebied van halfgeleider-silicium-monokristallen

De gecoate onderdelen in het hete veld van halfgeleider-silicium-monokristallen worden over het algemeen gecoat volgens de CVD-methode, inclusief pyrolytische koolstofcoating,Siliciumcarbide coatingEnTantaalcarbide coating, elk met verschillende kenmerken.

Gemeenschappelijke punten: het substraat is isostatisch grafiet met een hoge zuiverheid, doorgaans minder dan 5 ppm as; coating wordt gebruikt CVD-methode; coating is in principe 100% koolstof of siliciumcarbide; na het coaten is het oppervlak relatief dicht, het gas, vooral de siliciumdamp of het siliciumoxidegas van de oven, kan in principe worden geblokkeerd; de eigen stofvervluchtiging is ook zeer gering.

Verschillen: de standaarddikte van de coating, pyrolytische koolstofcoating is over het algemeen ongeveer 40um; Siliciumcarbide-coating wordt over het algemeen ongeveer 100um uitgevoerd, maar afhankelijk van de verschillende behoeften van klanten kan dit 30um ~ 150um worden gedaan, inclusief één coating en twee coatings; tantaalcarbide coating is over het algemeen 35 ± 15um.

Pyrolytische koolstofcoating, de dichtheid is gelijk aan die van niet-poreus grafiet, namelijk ongeveer 2,2. Het heeft een lage soortelijke weerstand en een hoge thermische geleidbaarheid in de parallelle richting van het oppervlak, zodat het de consistentie van de oppervlaktetemperatuur kan behouden, en het heeft ook een lage thermische uitzettingscoëfficiënt en een hoge elasticiteitsmodulus. In de loodrechte richting van het oppervlak is de thermische uitzettingscoëfficiënt groter en de thermische geleidbaarheid lager.

Voor met siliciumcarbide gecoate producten is de elasticiteitsmodulus van de coating zeer hoog, tientallen keren hoger dan de elasticiteitsmodulus van het interne grafietsubstraat. Om productbreuk te voorkomen moet er dus voorzichtig mee worden omgegaan.

Pyrolytische koolstofcoating en siliciumcarbidecoating van alle onzuiverheden zijn minder dan 5 ppm, waarbij het belangrijkste metaalelementgehalte minder dan 0,1 of 0,01 ppm is, hoe moeilijker het om te gaan met het boorelement 0,01 of 0,15 ppm is.

Semicorex biedt hoogwaardige CVD-coatingproducten voor halfgeleiders met service op maat. Als u vragen heeft of aanvullende informatie nodig heeft, aarzel dan niet om contact met ons op te nemen.

Neem contact op met telefoonnummer +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com