Poreus grafiet voor SiC-kristalgroei

Momenteel gebruiken de meeste fabrikanten van SiC-substraten een nieuw thermisch veldprocesontwerp voor smeltkroezen met poreuze grafietcilinders: het plaatsen van zeer zuivere SiC-deeltjesgrondstoffen tussen de grafietkroeswand en de poreuze grafietcilinder, terwijl de gehele smeltkroes wordt verdiept en de diameter van de smeltkroes wordt vergroot. Het voordeel is dat terwijl het laadvolume toeneemt, ook het verdampingsoppervlak van de grondstoffen toeneemt. Het nieuwe proces lost het probleem van kristaldefecten op, die worden veroorzaakt door de herkristallisatie van het bovenste deel van de grondstof naarmate de groei vordert op het oppervlak van het bronmateriaal, waardoor de materiaalstroom van sublimatie wordt beïnvloed. Het nieuwe proces vermindert ook de gevoeligheid van de temperatuurverdeling in het grondstoffengebied voor kristalgroei, verbetert en stabiliseert de massaoverdrachtsefficiëntie, vermindert de impact van koolstofinsluitingen in de latere groeistadia en verbetert de kwaliteit van SiC-kristallen verder. Het nieuwe proces maakt ook gebruik van een pitloze fixatiemethode voor kristalondersteuning die niet aan het kiemkristal blijft kleven, waardoor vrije thermische uitzetting mogelijk is en stressverlichting wordt bevorderd. Dit nieuwe proces optimaliseert het thermische veld en verbetert de efficiëntie van de diameteruitbreiding aanzienlijk.

De kwaliteit en opbrengst van SiC-monokristallen verkregen door dit nieuwe proces zijn sterk afhankelijk van de fysische eigenschappen van smeltkroesgrafiet en poreus grafiet. De dringende vraag naar hoogwaardig poreus grafiet maakt poreus grafiet niet alleen extreem duur, maar veroorzaakt ook een ernstig tekort op de markt.

Basisprestatie-eisen vanporeus grafiet

(1) Passende poriegrootteverdeling;

(2) Porositeit die hoog genoeg is;

(3) Mechanische sterkte die voldoet aan de verwerkings- en gebruiksvereisten.

Semicorex biedt hoogwaardige kwaliteitporeus grafietonderdelen. Als u vragen heeft of aanvullende informatie nodig heeft, aarzel dan niet om contact met ons op te nemen.

Neem contact op met telefoonnummer +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com