Wat is een SiC-boot en wat zijn de verschillende productieprocessen ervan?

1. De verschillende productieprocessen vanSiC-boot

(1) Het coaten van een laagSiC-filmop het oppervlak van grafietkristallen botenvia CVD

Dit type boot heeft een grafietkern, die uit één stuk is vervaardigd. Echter,grafiet is poreusen gevoelig voor het genereren van deeltjes, waardoor de toepassing van aSiC-filmcoatingop zijn oppervlak. Vanwege de discrepantie in de thermische uitzettingscoëfficiënt (CTE) tussen het grafietlichaam en deSiC-filmis het waarschijnlijk dat de coating na meerdere verwarmings- en afkoelingscycli loslaat, wat leidt tot deeltjesverontreiniging. Deze boten zijn het minst duur en hebben een levensduur van ongeveer een jaar.

(2) Het coaten van een laagSiC-filmop herkristalliseerdSiC-kristalboten

HerkristalliseerdSiC-botenzijn ook poreus en kunnen gemakkelijk deeltjes genereren. Daarom worden de afzonderlijke componenten geherkristalliseerdSiC-botenmoeten voorgevormd, gesinterd en vervolgens afzonderlijk bewerkt worden. Daarna worden de componenten bij hoge temperaturen met elkaar verbonden met behulp van Si-pasta. Eenmaal samengevoegd tot één enkele boot, aSiC-filmwordt toegepast via CVD. Dit herkristalliseerdeSiC-bootheeft het langste productieproces en is duur, maar het oppervlakCVD-coatingkan ook beschadigd raken, met een levensduur van ongeveer drie jaar.

(3)MonolithischSiC-kristalboten

Dezebotenzijn volledig samengesteld uit SiC-materiaal. SiC-poeder moet worden gegoten en gesinterd in de vorm van een monolithische boot. Ze zijn extreem duur, zeer duurzaam en vormen minder snel deeltjes. Deze boten bevatten echter 10-15% vrij silicium, dat gevoelig is voor erosie door fluor en chloor, wat leidt tot deeltjesverontreiniging.

2. Waarom wordt stomerij niet aanbevolen?

Kortom, voorSiC-botenbekleed met eenSiC-film via CVDis de oppervlaktecoating gevoelig voor loslaten tijdens chemisch reinigen, wat deeltjesverontreiniging veroorzaakt. Voor monolithischSiC-botendie een kleine hoeveelheid vrij silicium bevatten, kan blootstelling aan gassen die fluor of chloor bevatten leiden tot erosie en vorming van deeltjes, waardoor verontreiniging ontstaat.**