Wat is SOI

Silicium-op-isolator (SOI) wordt erkend als een van de oplossingen voor het vervangen van bestaande monokristallijne siliciummaterialen in het nanotechnologietijdperk en is een belangrijk hulpmiddel om de trend van de wet van Moore in stand te houden. Silicium-op-isolator, een substraattechnologie die traditioneel bulksubstraatsilicium vervangt door een "geconstrueerd" substraat, wordt al meer dan 30 jaar gebruikt in gespecialiseerde toepassingen zoals militaire en ruimte-elektronische systemen, waar SOI unieke voordelen heeft vanwege zijn uitstekende stralingsweerstand en hoge snelheidskarakteristieken.

SOI-materialen vormen de basis voor de ontwikkeling van SOI-technologie en de ontwikkeling van SOI-technologie hangt af van de voortdurende vooruitgang van SOI-materialen. Het ontbreken van goedkope, hoogwaardige SOI-materialen is de belangrijkste belemmering geweest voor SOI-technologie om grootschalige industriële productie te betreden. In de afgelopen jaren, met de volwassenheid van de SOI-materiaalvoorbereidingstechnologie, wordt het materiële probleem dat de ontwikkeling van SOI-technologie beperkt, geleidelijk opgelost, wat uiteindelijk twee soorten SOI-materiaalvoorbereidingstechnologie omvat, namelijk speration-by-oxygen implantation (SIMOX) en verbindingstechnologie. De hechtingstechnologie omvat de traditionele Bond and Etch back (BESOI)-technologie en de Smart-cut-technologie die waterstofioneninjectie en hechting combineert, voorgesteld door M. Bruel, een van de oprichters van SOITEC in Frankrijk, evenals de Simbond SOI-materiaalvoorbereiding die zuurstofisolatie en -binding voorgesteld door Dr. Meng Chen in 2005. De nieuwe technologie combineert zuurstofinjectie-isolatie en -binding.