Cantilever-peddel kennen

Tijdens de verwerking moeten halfgeleiderwafels gewoonlijk worden verwarmd in een gespecialiseerde oven. Dergelijke ovens bestaan ​​typisch uit lange, dunne, cilindrische buizen. De wafels worden zodanig in de oven en reactor geplaatst dat ze zijn gerangschikt langs een vlak dat wordt gedefinieerd door de cirkelvormige dwarsdoorsnede van de oven of reactor en op vooraf bepaalde, meestal op gelijke afstand van elkaar gelegen punten langs de centrale as van de oven of reactor zijn geplaatst. oven of reactor. Om deze positionering te bereiken, worden de wafels typisch geplaatst op van sleuven voorziene houders, wafelboten genaamd, die de wafels in een uit elkaar geplaatste configuratie plaatsen, uitgelijnd langs de centrale as.

Kleine boten met partijen wafels die moeten worden verwerkt, worden op lange vrijdragende peddels geplaatst waardoor buisovens en reactoren kunnen worden in- en uitgetrokken. Dergelijke peddels bevatten typisch een plat draaggedeelte waarop een of meer kleine boten kunnen worden geplaatst, en een lange handgreep, die zich aan een uiteinde van het platte draaggedeelte bevindt, waarmee de peddels kunnen worden gehanteerd. Tussen de handgreep en het draagdeel wordt meestal een overgangsdeel gevormd om deze tot een geheel te maken. Ook moet de handgreep uit de oven of reactor steken zodat deze en de waferboot kunnen worden gemanipuleerd.

De positionering van het waferschip binnen de oven of reactor is belangrijk omdat het wenselijk is om het midden van elke wafer zo dicht mogelijk bij de centrale as van de oven of reactor te plaatsen om uniforme verwerkingsomstandigheden te bereiken waaraan de wafers worden onderworpen. Daarom moet bij het ontwerp van de schoepen rekening worden gehouden met de buiging van de schoepen die wordt veroorzaakt door het gewicht van het schip dat de wafels vervoert, vooral omdat de schoepen slechts aan één uiteinde worden ondersteund, d.w.z. het uiteinde dat uit de ovenkamer steekt. Naast het ontwerp van de peddel als gevolg van de operationele gewichtsvereisten, moet ook een set klemmen worden gebruikt die zijn ontworpen om het verlengde uiteinde van de peddel precies op zijn plaats te houden. Deze klemmen moeten behoorlijk robuust zijn om de peddel in een precies gewenste positie te houden, terwijl ze eenvoudig te gebruiken zijn en de kans op schade aan de peddel tijdens het klemmen minimaliseren.

Daarom was er een vrijdragende peddel nodig die met een zwaardere belasting kon worden gebruikt en tegelijkertijd compatibel bleef met bestaande klemsystemen. Er was ook behoefte aan een vrijdragende peddel die acceptabele doorbuigingskarakteristieken vertoonde over het hele bereik van gewichtsbelastingen waarmee hij kon worden gebruikt.

de cantilever paddle wordt aanbevolen om geherkristalliseerd siliciumcarbide te gebruiken met een CVD SiC dunne laag, wat een hoge zuiverheid is en de beste keuze voor de componenten in halfgeleiderverwerking.

Semicorex kan biedenhoge kwaliteitvrijdragende peddelsEnaangepaste diensten volgens de tekeningen en werkomgeving.