Hoe worden keramische elektrostatische klauwplaten eigenlijk geproduceerd?

Traditionele methoden voor het vastklemmen van wafels omvatten mechanische klemming die gewoonlijk wordt gebruikt in de traditionele mechanische industrie en wasbinding, die beide de wafel gemakkelijk kunnen beschadigen, kromtrekken kunnen veroorzaken en deze kunnen vervuilen, wat een aanzienlijke invloed heeft op de verwerkingsprecisie.

Hoe zijn vacuümklauwplaten geëvolueerd en waarom?Keramische elektrostatische klauwplatenVoorkeur?

In de loop van de tijd werden vacuümklauwplaten van poreus keramiek ontwikkeld. Deze klauwplaten gebruiken de negatieve druk die wordt gevormd tussen de siliciumwafel en het keramische oppervlak om de wafel vast te houden, wat lokale vervorming kan veroorzaken en de vlakheid kan beïnvloeden. Daarom zijn er de afgelopen jarenkeramische elektrostatische klauwplaten, die zorgen voor een stabiele en uniforme adsorptiekracht, wafelverontreiniging voorkomen en de temperatuur van siliciumwafels effectief regelen, zijn het ideale klemgereedschap geworden voor ultradunne wafels.

Hoe verloopt het productieproces vanKeramische elektrostatische klauwplatenUitgevoerd?

Over het algemeen wordt meerlaagse keramische co-baktechnologie gebruikt, waaronder processen zoals het gieten van tape, snijden, zeefdrukken, lamineren, heetpersen en sinteren.

Voor Coulomb-typeelektrostatische klauwplatenbevat de diëlektrische laag geen geleidende materialen. Het omvat het mengen van keramische poeders, oplosmiddelen, dispergeermiddelen, bindmiddelen, weekmakers en sinterhulpmiddelen om een ​​stabiele slurry te creëren. Deze slurry wordt vervolgens gecoat met behulp van een rakel, gedroogd en in plakjes gesneden om keramische groene platen van een specifieke dikte te vormen. Voor JR-typeelektrostatische klauwplatenworden aanvullende weerstandsregelaars (geleidende materialen) gemengd om de vereiste weerstand van de JR-laag te bereiken, gevolgd door tape-gieten om de groene vellen te vormen.

Zeefdruk wordt voornamelijk gebruikt voor het voorbereiden van de elektrodelaag. Geleidende pasta wordt eerst aan één uiteinde van de zeefdrukplaat gegoten. Onder invloed van de rakel op de zeefprinter dringt de geleidende pasta door de gaasopeningen van de zeefplaat en zet zich af op het substraat. Het drukproces is voltooid wanneer de rakel de zilverpasta gelijkmatig door het zeefgaas verspreidt.

De groene keramische platen worden in de gewenste volgorde (substraatlaag, elektrodelaag, diëlektrische laag) en aantal lagen gestapeld. Vervolgens worden ze onder specifieke temperatuur- en drukomstandigheden samengeperst tot een compleet groen lichaam. Het is van cruciaal belang om ervoor te zorgen dat de druk gelijkmatig over het gehele oppervlak van het groene lichaam wordt verdeeld om een ​​uniforme krimp tijdens de compressie te garanderen.

Tenslotte ondergaat het volledige groene lichaam een ​​geïntegreerde sintering in een oven. Er moet een geschikt temperatuurprofiel worden opgesteld om controle over de vlakheid en krimp tijdens het sinterproces te garanderen. Er wordt gemeld dat de Japanse NGK de krimpsnelheid van het poeder tijdens het sinteren kan beheersen tot ongeveer 10%, terwijl de meeste binnenlandse fabrikanten nog steeds een krimpsnelheid van 20% of meer hebben.**

Wij van Semicorex zijn ervaren in het bieden van oplossingen voor Keramische elektrostatische klauwplatenEnandere keramische materialentoegepast in de halfgeleider- en PV-sector. Als u vragen heeft of aanvullende informatie nodig heeft, aarzel dan niet om contact met ons op te nemen.

Contacttelefoon: +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com