Wat is plasma-etsen bij lage temperatuur?

Plasma is de vierde toestand van materie en speelt een cruciale rol in zowel industriële toepassingen als natuurlijke fenomenen. Plasma is bijvoorbeeld aanwezig in bliksem en wordt in overvloed gegenereerd op het oppervlak van de zon, waar de kerntemperatuur een verbazingwekkende 13.500°C bereikt. Dit hogetemperatuurplasma is niet geschikt voor de meeste industriële productieprocessen.

Aan de andere kant is plasma op lage temperatuur een kunstmatig gecreëerde vorm van plasma die energie gebruikt in plaats van warmte om chemische reacties te versnellen. De temperatuur varieert doorgaans van kamertemperatuur tot enkele honderden graden Celsius, waardoor het zeer effectief is voor verschillende toepassingen.

Stappen om kunstmatig plasma te genereren:

1. Verlaag de druk in de kamer: Begin met het gebruik van een vacuümpomp om de druk in de holte te verlagen. Het bereiken van lage druk is essentieel voor het stabiliseren van het plasma en het vergemakkelijken van gasionisatie.

2. Procesgas introduceren: Injecteer specifieke procesgassen in de holte. Deze gassen dienen als de primaire bron van deeltjes in het plasma.

3. Exciteer het plasma: schakel kracht in om het gas te ioniseren, waardoor effectief plasma wordt gevormd.

4. Deactiveer het plasma en herstel de atmosferische druk: Zodra de gewenste reacties zijn voltooid, schakelt u het plasma uit en brengt u de kamer terug naar atmosferische druk.

Toepassingen van plasma bij lage temperaturen bij de productie van halfgeleiders:

Plasma op lage temperatuur is onmisbaar bij de productie van halfgeleiders en vervult cruciale functies bij droog etsen, fysische dampafzetting (PVD), chemische dampafzetting (CVD), atomaire laagafzetting (ALD), ionenimplantatie, verassing en eindpuntdetectie. De veelzijdigheid en efficiëntie maken het tot een fundamenteel hulpmiddel in de industrie.

Semicorex aanbiedingenhoogwaardige oplossingen voor plasma-etsen. Als u vragen heeft of aanvullende informatie nodig heeft, aarzel dan niet om contact met ons op te nemen.

Neem contact op met telefoonnummer +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com