De structuur van elektrostatische Chuck (ESC)

EenElektrostatische boorkop (ESC)is een apparaat dat wordt gebruikt om halfgeleiderwafels op hun plaats te houden tijdens processen zoals etsen, depositie of polijsten. Het werkt door een elektrostatisch veld te genereren dat de wafer aantrekt en veilig op het oppervlak van de spankop houdt, waardoor stabiliteit en nauwkeurige uitlijning wordt geboden tijdens het hanteren van de wafer. ESC's worden veel gebruikt in de productie van halfgeleiders om de procesnauwkeurigheid en de efficiëntie van het hanteren van wafels te verbeteren.

Het werkelijke beeld van een conventioneleelektrostatische klem (ESC)is afgebeeld in de figuur. Het belangrijkste verschil tussen de modellen ligt in het materiaal van de isolatielaag op het oppervlak van de elektrostatische spankop. In de figuur vertegenwoordigt de donkere kleur aluminiumnitride, terwijl de witte kleur aluminiumoxide vertegenwoordigt. De structuur van deelektrostatische boorkopbestaat uit verschillende onderdelen:

1. **Isolatielaag**: Deze laag staat in contact met de wafel, meestal gemaakt van aluminiumnitride of aluminiumoxide-keramiek vanwege hun uitstekende mechanische sterkte, hoge temperatuurbestendigheid en goede thermische geleidbaarheid.

2. **Uitwerppen en gasgat**: De uitwerppen is ontworpen om de wafer over te brengen. Wanneer de wafel de etskamer binnengaat, gaat de uitwerppen omhoog om deze te ondersteunen, en vervolgens gaat hij omlaag om de wafel op het oppervlak van de elektrostatische klauwplaat te plaatsen. De uitwerppen heeft meestal een holle structuur, waardoor heliumgas kan worden geïntroduceerd om de wafel te helpen afkoelen.

3. **Back He Flow Channel**: Dit onderdeel verbetert de warmteafvoer en vergemakkelijkt de adsorptie van de wafer.

4. **Elektrostatische elektrode**: deze elektrode genereert een elektrisch veld dat de elektrostatische kracht creëert die nodig is om de wafer op zijn plaats te houden. Typisch is de elektrode vlak en is ofwel ingebed in of afgezet op het isolatiemateriaal. Veelgebruikte geleidende materialen zijn aluminium, koper en wolfraam.

5. **Circulerende koelwater- en verwarmingselektrode**: deze elementen zijn primair verantwoordelijk voor de algehele temperatuurregeling van de elektrostatische boorkop. De verwarmingselektrode en het circulerende koelwater werken samen om een ​​stabiele temperatuur voor de wafer te handhaven. Als u uitsluitend vertrouwt op circulerend koelwater, kan dit ertoe leiden dat u de tijdens het etsproces gegenereerde warmte niet kunt beheersen, waardoor de stabiliteit van het proces mogelijk in gevaar komt.  

Semicorex biedt hoogwaardige kwaliteitElektrostatische klem (ESC). Als u vragen heeft of aanvullende informatie nodig heeft, aarzel dan niet om contact met ons op te nemen.

Neem contact op met telefoonnummer +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com