Een korte introductie tot dummywafeltjes

Geavanceerde halfgeleiderproductie bestaat uit meerdere processtappen, waaronder depositie van dunne films, fotolithografie, etsen, ionenimplantatie en chemisch-mechanisch polijsten. Tijdens dit proces kunnen zelfs kleine foutjes in het proces een schadelijk effect hebben op de prestaties en betrouwbaarheid van de uiteindelijke halfgeleiderchips. Daarom is het een aanzienlijke uitdaging om de processtabiliteit en -consistentie te behouden en om efficiënte apparatuurmonitoring uit te voeren. Dummywafels zijn cruciale hulpmiddelen om deze uitdagingen aan te pakken.

Dummywafels zijn wafers die geen echte schakelingen bevatten en die niet worden gebruikt in het uiteindelijke chipproductieproces. DezewafeltjesDit kunnen gloednieuwe testwafels van lagere kwaliteit zijn, of hergebruikte wafers. Anders dan dure productwafels die worden gebruikt voor de vervaardiging van geïntegreerde schakelingen, worden ze doorgaans gebruikt voor verschillende niet-productiegerelateerde producten die essentieel zijn voor de productie van halfgeleiders.

Toepassingen van dummywafels

1. Proceskwalificatie en afstemming

Dummywafels worden vaak gebruikt voor testen voorafgaand aan deze situaties om processtabiliteit en naleving van de apparatuurprestaties te garanderen, zoals vóór de inbedrijfstelling van nieuwe procesapparatuur, na onderhoud of vervanging van componenten van bestaande apparatuur, en tijdens de ontwikkeling van nieuwe procesrecepten. De verificatie van de apparatuurprestaties en de nauwkeurige aanpassing van procesparameters kunnen met succes worden voltooid door de verwerkingsresultaten op de dummywafels te analyseren, waardoor het verlies van productwafels effectief wordt verminderd en de productiekosten voor ondernemingen worden verlaagd.

2. Conditionering en warming-up van de uitrusting

De kameromgeving van veel halfgeleiderprocesapparatuur (bijvoorbeeld apparatuur voor chemische dampafzetting (CVD), apparatuur voor fysische dampafzetting (PVD) en etsmachines) heeft een aanzienlijke invloed op de verwerkingsresultaten. De coatingstatus en temperatuurverdeling op de binnenwanden van de kamer moeten bijvoorbeeld een stabiele toestand bereiken. Dummywafels worden vaak gebruikt om de proceskamers te conditioneren en de interne omgeving (bijvoorbeeld temperatuur, chemische atmosfeer en oppervlaktestatus) van de kamers te stabiliseren, waardoor op effectieve wijze procesafwijkingen of defecten in de eerste batch productwafels worden voorkomen die worden veroorzaakt doordat de apparatuur niet in optimale staat werkt.

3. Deeltjesmonitoring en verontreinigingsbeheersing

De productie van halfgeleiders stelt extreem hoge eisen aan de zuiverheid; zelfs kleine verontreiniging met deeltjes kan leiden tot spaanfalen. Door de deeltjes te onderzoeken die zich hechten aan het oppervlak van de dummywafels die in de apparatuur worden ingevoerd, kan de reinheid van de apparatuur worden beoordeeld. Productwafels kunnen dus met succes tegen besmetting worden beschermd door mogelijke bronnen van besmetting onmiddellijk te identificeren en reinigings- of onderhoudsprocedures in te voeren.

4. Slotvulling voor batchuniformiteit

Om de gasstroom, de temperatuurverdeling en de concentratie van de reactanten in de proceskamer te bereiken, is werking bij volle belasting de gebruikelijke praktijk in batchverwerkingsapparatuur zoals diffusieovens, oxidatieovens of natte reinigingstanks. Dummywafels worden gebruikt om de lege sleuven in de wafelboot te vullen die niet voldoende productwafels hebben, wat het randeffect kan verminderen en consistente verwerkingsomstandigheden voor alle productwafels kan garanderen, vooral voor degenen die zich aan de randen van de wafelboot bevinden.

5. Stabilisatie van chemisch-mechanische polijstprocessen (CMP).

Dummywafels kunnen ook worden gebruikt in de voorbehandelingsfase van het CMP-proces om de processtabiliteit te behouden. Pre-run testen met dummy-wafels optimaliseren de ruwheid en porositeit van het polijstpad, minimaliseren procesonzekerheden tijdens de opstartstabilisatiefase of de overgangsfase vóór het uitschakelen, en verminderen waferkrassen en defecten veroorzaakt door abnormale slurrytoevoer en kopmembraanslijtage.

Semicorex biedt kosteneffectiefSiC-dummywafels. Als u vragen heeft of aanvullende informatie nodig heeft, aarzel dan niet om contact met ons op te nemen.

Neem contact op met telefoonnummer +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com