Gesmolten kwartsring

De toepassingen van Semicorex gesmolten kwartsringen bij het etsen van halfgeleiders

Het halfgeleideretsproces is een cruciale stap in de fabricage van halfgeleiderapparaten. Tijdens het etsen worden specifieke delen van de wafer selectief verwijderd om ingewikkelde patronen te creëren. Dit proces vereist materialen die extreme omstandigheden kunnen weerstaan ​​en consistente prestaties kunnen leveren. De Fused Quartz Ring is ontworpen om aan deze strenge eisen te voldoen en ervoor te zorgen dat het etsproces nauwkeurig, efficiënt en betrouwbaar is.

Voordelen van Semicorex gesmolten kwartsring

1. Uitzonderlijke zuiverheid

De zuiverheid van SiO2 in de Fused Quartz Ring is een van de belangrijkste voordelen. Met zuiverheidsniveaus variërend van 99,995% tot 99,999% zorgt de Fused Quartz Ring voor minimale vervuiling en hoogwaardige etsresultaten. Deze hoge zuiverheid is cruciaal bij de productie van halfgeleiders, waar zelfs de kleinste onzuiverheden de prestaties en betrouwbaarheid van het eindproduct kunnen beïnvloeden.

2. Superieure thermische stabiliteit

De Fused Quartz Ring is ontworpen om extreme temperaturen te weerstaan, met een bedrijfstemperatuur tot 1250°C en een verwekingstemperatuur van 1730°C. Dankzij deze hoge thermische stabiliteit kan de Fused Quartz Ring zijn structurele integriteit en prestaties behouden onder de intense hitteomstandigheden die vaak voorkomen bij het etsproces.

3. Lage uitzettingscoëfficiënt

De extreem lage uitzettingscoëfficiënt van de Fused Quartz Ring maakt hem zeer goed bestand tegen thermische schokken. Deze eigenschap is cruciaal in het etsproces, waarbij snelle temperatuurveranderingen kunnen optreden. De lage uitzettingscoëfficiënt zorgt ervoor dat de Fused Quartz Ring stabiel en betrouwbaar blijft, waardoor het risico op scheuren en andere thermische spanningsgerelateerde problemen wordt verminderd.

4. Chemische weerstand

De Fused Quartz Ring vertoont een uitstekende weerstand tegen zuren en alkaliën. Deze chemische resistentie zorgt ervoor dat de Fused Quartz Ring bestand is tegen de zware omstandigheden van het etsproces, waardoor de prestaties en duurzaamheid gedurende langere perioden behouden blijven.

5. Microbellenvrij en laag hydroxylgehalte

De afwezigheid van microbellen en het lage hydroxylgehalte in de Fused Quartz Ring zorgt ervoor dat ze consistente en betrouwbare prestaties leveren. Microbellen en een hoog hydroxylgehalte kunnen leiden tot defecten en vervuiling tijdens het etsproces, waardoor de kwaliteit en betrouwbaarheid van het eindproduct worden aangetast.

6. Lage thermische geleidbaarheid en diëlektrische constante

De Fused Quartz Ring heeft een zeer lage thermische geleidbaarheid en diëlektrische constante, evenals de laagste verliestangens van bijna alle bekende materialen. De lage thermische geleidbaarheid helpt de warmte effectief af te voeren, waardoor het risico op thermische schade aan de wafer wordt verminderd. De lage diëlektrische constante en verliestangens zorgen ervoor dat onze kwartsringen uitstekende elektrische isolatie bieden, waardoor het risico op elektrische interferentie wordt verminderd en de algehele efficiëntie van het etsproces wordt verbeterd.