Glassy koolstofcoating vilt

Semicorex glasachtige koolstofcoating vilt fungeert als een binnenste isolatielaag in siliciumcarbide epitaxiale reactoren. Het is een hoogwaardige isolatiemateriaal die is ontworpen voor geavanceerde thermische omgevingen. Dit product overwint typische halfgeleider hoge temperatuur productie-uitdagingen door superieure oplossingen aan te bieden vanwege de lichtgewicht en uitstekende thermische isolatie-eigenschappen vanGraphiet vilt, in combinatie met de oppervlakte -integriteit en chemische inertie toegegeven door een glazige koolstofcoating.

Het basismateriaal is een hoge zuiverheidGraphiet viltKies voor zijn lage thermische geleidbaarheid hoge temperatuurstabiliteit en lichtgewicht. Normaal grafiet vilt heeft meestal oppervlakte vezels en deeltjesgeneratie bij verhoogde temperaturen die de procesomgeving in gevoelige epitaxiale systemen kunnen verontreinigen. Om dit probleem te verminderen, is het oppervlak van het grafietgevoel uniform gecoat met een laag glazige koolstof-een dichte, niet-poreuze vorm van koolstof die bekend staat om zijn chemische inertigheid, lage gaspermeabiliteit en uitzonderlijke thermische stabiliteit.

Glassy koolstof is een niet-gerafetiseerde koolstof die de eigenschappen van glas en keramiek combineert. In tegenstelling tot kristallijn grafiet, is het een amorf, bijna 100% SP2 gehybridiseerd koolstofmateriaal, dat wordt gevormd door sinteren op hoge temperatuur van gepolymeriseerde organische voorlopers, zoals fenolhars, furfuryl alcoholhars, enz., In een inerte gasatmosfeer. Omdat het overal zwart is en een glad oppervlak heeft vergelijkbaar met glas, wordt het glazige koolstof genoemd.

Glassige koolstofcoating kan het genereren van ovendeeltjes elimineren, verzegelde oppervlakteporiën bieden, uitstekende demolde -eigenschappen hebben en de permeabiliteit verminderen, waardoor dit materiaal zeer geschikt is voor continue gietvormen en producten in de halfgeleiderindustrie. Dit materiaal heeft een breed scala aan toepassingen in de halfgeleiderindustrie, met name in grafietonderdelen zoals silicium -siliciumuitrustingscomponenten, epitaxiale groeicomponenten, continue gietvormen, glazen afdichtingsmallen, enz.

Glassige koolstof heeft een hoge temperatuurweerstand tot 3000 ° C in inerte gas of vacuüm, en in tegenstelling tot alle andere keramische en metalen materialen met hoge temperatuur, neemt de sterkte van glasachtige koolstof toe met toenemende temperatuur tot 2700K, en het wordt niet bros en heeft een extreem hoge thermische schokweerstand, dus korte verwarming en koeltijden zijn geen probleem. Bovendien heeft glazige koolstof lage massa, absorptie met een lage warmte en lage thermische expansie, dus het is geschikt voor bijna alle toepassingen op hoge temperatuur.

De glazige koolstofcoating speelt een cruciale rol bij het afdichten van de oppervlakteporiën van het grafietgevoel, waardoor de afgifte van deeltjes en koolstofstof tijdens de werking aanzienlijk wordt verminderd. Dit is vooral van cruciaal belang in SiC -epitaxiale groeiprocessen, waarbij zelfs minimale besmetting de waferkwaliteit en apparaatprestaties in gevaar kan brengen. Door de poreuze structuur van het vilt in te kapselen met een gladde, harde glazige koolstofschaal, zorgt de coating voor een schone en stabiele thermische omgeving in de reactiekamer.

Belangrijkste voordelen van glazige koolstofcoating vilt zijn:

Verminderde deeltjesafwerpen: de dichte coating vergrendelt effectief losse vezels en deeltjes, waardoor besmetting van wafels en reactorcomponenten wordt voorkomen.

Hoge thermische stabiliteit: zowel het grafietgevel als de glazige koolstof kunnen de temperaturen weerstaan dan 2000 ° C in inerte of vacuümatmosferen, waardoor het product ideaal is voor SIC-processen op hoge temperatuur.

Chemische inertie: het glazige koolstofoppervlak is bestand tegen de meeste zuren en corrosieve gassen, waardoor de operationele levensduur van de isolatielaag onder barre omstandigheden wordt verlengd.

Verbeterde procesconsistentie: de geminimaliseerde deeltjesgeneratie draagt bij aan een stabielere en herhaalbare epitaxiale groeiomgeving, die essentieel is voor het produceren van hoogwaardige SIC-wafels.

Toepassingen van glazige koolstofcoating -vilt strekken zich voornamelijk uit tot SIC -epitaxiale groei -ovens, waar het wordt gebruikt als een thermische isolatielaag in de hete zone. Het product wordt meestal geïnstalleerd als een voeringmateriaal in de bovenste of onderste isolatiestapels, waar het zowel thermische bescherming als reinheid biedt.