Graphite Chuck

Semicorex Graphite Chuck is ontworpen vanGespecialiseerd grafiet, erkend voor zijn uitstekende thermische en chemische weerstand. Een uniek voorbeeld van een dergelijke grafiet -klootzak die specifiek is gemanipuleerd uit die vorm van grafiet omdat het bekend staat om zijn zeer hoge weerstand tegen chemicaliën en om te verwarmen. Dit maakt de klootzakken zeer langdurig en ze zullen presteren in de moeilijkste omstandigheden die worden gebruikt in chemische dampafzetting (CVD) of plasma-etsen of zelfs in een oven van hoge temperatuur. Als zodanig zou een hoge zuiverheid met zeer lage onzuiverheden al betekenen dat ze geen vervuiling zouden veroorzaken tijdens de productie van polysilicon. Ze zijn in staat om temperaturen ver boven 2000 ° C te dragen zonder enige opmerkelijke vervorming, omdat ze zeer stabiel zijn door verhoogde temperatuur. Bovendien hebben ze ook een superieure weerstand tegen de meeste chemicaliën en zullen daarom onder zeer moeilijke omstandigheden overleven, zoals bij zoutzuur (HCL) of siliciumtetrachloride (SICL4). Hoge mechanische sterkte betekent toch dat de klootzak in staat is zijn vorm te behouden, zelfs wanneer hij wordt onderworpen aan een continue belasting.

Graphite Chuck is van cruciaal belang bij het verwerking van wafers en de groei van kristallen; Ze spelen in elk stadium een ​​primaire rol in alle productie, zoals chemische dampafzetting (CVD), waar ze zorgen voor uniforme siliciumafzetting. Tijdens het snijden en polijsten bieden ze stabiele ondersteuning voor het afsnijden van wafers en afwerking van het oppervlak. In de thermische verwerking fungeren ze als een warmtebestendige basis voor het gloeien van siliciumwafers en dopingprocessen, waardoor de efficiëntie en kwaliteit van de productielijn aanzienlijk wordt verbeterd.

Hoe zorgen we voor de uniformiteit van de uitvoering van onzegrafiet?

Ten eerste, carbonisatie. Onze oven heeft slechts 115 kubieke meter. Ons technische team test het temperatuurveld van grafietproducten in verschillende delen van elke oven. In de lage temperatuurstatus (0-200 °) wanneer de temperatuur begint te stijgen, zullen we deze regelen op ongeveer ± 10 °, en in de hoge temperatuurstatus (boven 600 °) zullen we het regelen op ± 1 °. We zullen niet alleen het temperatuurveld tussen verschillende grafieten testen, maar ook het oppervlak en de interne temperatuur van elk stuk grafietmateriaal testen en het op ± 3 ° regelen. We testen 8 temperatuurpunten in elke oven in de carbonisatie -oven.

De tweede is grafitisatie. Als voorbeeld 500 kg nemen, testen we ook 8 temperatuurpunten. Monsters worden willekeurig geïnspecteerd op elke positie van het grafitiseerde product voor destructieve testen. Na vernietiging worden 24 punten getest. Tests worden afzonderlijk van de XYZ -as uitgevoerd om de uniformiteit ervan te waarborgen. De meeste bedrijven in de industrie zullen alleen de X -as of hoogstens de XY -as testen.

Algemene fabrikanten testen slechts 6-8 punten en de betere test 12 punten, terwijl we 24 punten testen.

Semicorex Graphite Chuck is een onmisbare oplossing voor polysiliconfabrikanten die op zoek zijn naar krachtige, betrouwbare en kosteneffectieve tooling. Met geavanceerde materiaaleigenschappen en precisie -engineering verbetert ons product de efficiëntie en kwaliteit van de productie van siliciumwafers in de zonne -industrie. Neem vandaag nog contact met ons op voor meer informatie of aangepaste specificaties.