Grafietelektrode

Semicorex Grafietelektrode is een zeer zuivere, nauwkeurig vervaardigde grafietcomponent voor gebruik in thermische halfgeleidertoepassingen, waarbij elektrische geleidbaarheid, thermische stabiliteit en maatnauwkeurigheid van het grootste belang zijn. In feite worden dit soort elektroden gebruikt in hogetemperatuurovens, epitaxiereactoren en thermische verwerkingskamers, waardoor stabiele stroomgeleiding, warmteoverdracht en stabiliteit onder agressieve temperatuur- en atmosfeeromstandigheden worden vergemakkelijkt. Dankzij de extreme zuiverheid, uniformiteit van de vaste structuur en hoge mechanische eigenschappen van Semicorex grafietelektroden kunnen ze betrouwbare thermische prestaties leveren als verwarmingselementen in veeleisende halfgeleidertoepassingen

De grafietelektrode is vervaardigd uit hoogwaardig fijnkorrelig grafietmateriaal, elk gemaakt met behulp van een geavanceerde reeks extrusie, carbonisatie bij hoge temperatuur en grafitisering. De grafietmicrostructuur is ontworpen voor een vrijwel constante elektrische weerstand, hoge thermische geleidbaarheid en mechanische stabiliteit. Het eindproduct is een zeer zuivere thermische geleider die een fysieke conditie en een uniforme stroomverdeling handhaaft in omgevingen met hoog vermogen en snelle temperatuurschommelingen.

De hoge zuiverheid van de고정밀 화학기계연마(CMP) 처리를 거쳐 치수 정확도와 표면 평탄도가 나노미터 수준에 도달하고 결정 구조가 완벽에 가깝습니다. 이 제품은 전도성 및 반절연 기판 유형 모두에 걸쳐 균일한 저항률로 탁월한 전기적 균일성을 제공합니다. 그러나 엄격한 원자재 선택과 복잡한 생산 공정 제어(높은 수율 보장)로 인해 생산 비용이 세 가지 기판 유형 중 가장 높습니다. 

Ons grafiet garandeert superieure prestatie-uniformiteit. Ten eerste hebben onze ovens tijdens het carbonisatieproces slechts 115 kubieke meter. Ons technisch team bewaakt het temperatuurveld van grafietproducten in verschillende delen van elke oven. In de initiële lage temperatuurfase (0-200°C) regelen we de temperatuur binnen ±10°C, en bij hoge temperaturen (boven 600°C) binnen ±1°C. We monitoren niet alleen het temperatuurveld tussen verschillende grafietdeeltjes, maar ook de oppervlakte- en interne temperatuur van elk afzonderlijk grafietstuk, waarbij we deze binnen ±3°C regelen. We monitoren 8 temperatuurpunten in elke carbonisatieoven.

Ten tweede monitoren we tijdens het grafitiseringsproces, waarbij we als voorbeeld een batch van 500 kg nemen, ook 8 temperatuurpunten. Na de grafitisering nemen we willekeurig monsters en testen we op destructieve wijze 24 punten langs de X-, Y- en Z-assen om uniformiteit te garanderen. De meeste bedrijven in de branche testen alleen de X-as, of hoogstens de XY-as, waarbij typische fabrikanten slechts 6-8 punten testen, en betere fabrikanten 12 punten. Wij testen 24 punten.

Op het gebied van thermische halfgeleiders is de grafietelektrode een cruciaal onderdeel van het verwarmingssamenstel, waarbij elektrische stroom naar de verwarmingszone wordt geleid en een gecontroleerde temperatuurverdeling over een specifiek proces mogelijk wordt gemaakt, zoals oxidatie, diffusie, LPCVD of epitaxie. De grafietelektrode moet een betrouwbare operationele rol vervullen bij temperaturen boven de 2000°C en moet daarbij bestand zijn tegen oxidatie, kromtrekken of vervuiling van de verwarmingslocatie.

Semicorex grafietelektroden hebben een uitstekende elektrische geleidbaarheid, wat een effectieve vermogensafgifte met minimale verliezen mogelijk maakt, en ze beschikken over een uitstekende thermische geleidbaarheid, waardoor een snelle, uniforme warmteoverdracht in de oven mogelijk is. De combinatie van lage thermische uitzetting en hoge mechanische sterkte vermindert vervorming en scheuren tijdens thermische cycli, waardoor stabiel gedrag gedurende een lange levensduur ontstaat. Elke elektrode is machinaal bewerkt met strikte maattoleranties en een fijne oppervlakteafwerking om consistent contact en een verwaarloosbare elektrische weerstand aan het contactoppervlak te garanderen.

zorgt voor ongelooflijk lage niveaus van metallische onzuiverheden (en gasvormige onzuiverheden), vaak meer dan 99,999% koolstof. Dergelijke lage niveaus van onzuiverheden helpen verontreiniging van halfgeleiderwafels tijdens thermische verwerking te voorkomen. Gecombineerd met de aanzienlijke bewerkingsdiepte en gepolijste oppervlakteafwerking, voldoen Semicorex Grafietelektroden aan zowel de mechanische als chemische stabiliteit van de modernste wafelfabricagetechnologieën.

De hoge zuiverheid van degrafiet materiaalzorgt voor ongelooflijk lage niveaus van metallische onzuiverheden (en gasvormige onzuiverheden), vaak meer dan 99,999% koolstof. Dergelijke lage niveaus van onzuiverheden helpen verontreiniging van halfgeleiderwafels tijdens thermische verwerking te voorkomen. Gecombineerd met de aanzienlijke bewerkingsdiepte en gepolijste oppervlakteafwerking, voldoen Semicorex Grafietelektroden aan zowel de mechanische als chemische stabiliteit van de modernste wafelfabricagetechnologieën.

Of het nu wordt gebruikt in diffusieovens, epitaxiale reactoren of verwerkingsapparatuur voor hoge temperaturen, de Semicorex Grafietelektrode biedt ongeëvenaarde prestaties in de meest veeleisende thermische omgevingen. Door een hoge zuiverheid, nauwkeurige geometrie en geavanceerde materiaalverwerking te combineren, levert Semicorex een elektrode-oplossing die een stabiele stroomgeleiding, consistente verwarming en langdurige operationele betrouwbaarheid garandeert, essentieel voor de productie van halfgeleiders van de volgende generatie.