Horizontale kwartswaferboten

Horizontale kwartswafelbotenhouden halfgeleiderwafels gewoonlijk horizontaal in de ovenbuizen van warmtebehandelingsapparatuur, verwarmd door externe verwarmingsapparaten. Ze worden veel gebruikt in veeleisende corrosieve halfgeleider-warmtebehandelingsprocessen bij hoge temperaturen, zoals thermische oxidatie, diffusie bij hoge temperatuur, uitgloeien en chemische dampafzetting (CVD).

De functies van Semicorex horizontale kwartswafelboten

1. Stabiel vasthouden en beveiligen

Semicorex horizontale kwartswafelboten hebben een uitstekend draagvermogen en kunnen constant stabiele ondersteuning bieden voor meerdere halfgeleiderwafels. En hun geoptimaliseerde externe ontwerp en nauwkeurige sleufstructuur zorgen voor elkwafeltjeis perfect gemonteerd en stevig vastgezet op de horizontale kwartswafelboten, waardoor de wafelkrassen en botsingen veroorzaakt door schudden, verplaatsing en kantelen tijdens transport- en productieprocessen aanzienlijk worden verminderd.

2. Hulp bij procesuniformiteit

De sleufstructuur met gelijke tussenruimte van horizontale kwartswafelboten maakt de ordelijke plaatsing van halfgeleiderwafels mogelijk, waardoor een stabiel en soepel gasstroomveld in de hogetemperatuurovens wordt gecreëerd. Het structurele ontwerp zorgt voor een consistent gascontact en reactiesnelheid op elk wafeloppervlak, waardoor verschillende defecten die worden veroorzaakt door de ongelijkmatige verwarming en het differentiële gascontact, zoals onvolledige waferoxidatie, ongelijkmatige afzetting van dunne films en afwijkingen in de doteringsconcentratie, effectief worden verminderd.

3. Lange levensduur

Dankzij de superieure hogetemperatuurbestendigheid van kwartsmateriaal kunnen Semicorex horizontale kwartswafelboten lange tijd hoge temperaturen van 1100-1200℃ weerstaan ​​zonder vervorming of smelten.Kwartsis chemisch inert voor gassen die gewoonlijk worden gebruikt in halfgeleiderprocessen, zoals zuurstof, stikstof en waterstofchloride. Deze uitzonderlijke chemische inertheid kan het risico op corrosie door procesgassen minimaliseren, waardoor de levensduur aanzienlijk wordt verlengd en de vervangingstijd en -kosten van apparatuur worden verminderd.