Horizontale wafelcassette

Materiaaleigenschappen

De Semicorex Horizontale Wafercassette is een essentieel hulpmiddel in de halfgeleiderindustrie voor het beschermen en hanteren van wafers in verschillende productiefasen. Deze cassettes, vaak waferdragers genoemd, zijn ontworpen om meerdere wafers van dezelfde grootte vast te houden en te verplaatsen. Ze zorgen voor uitstekende prestaties onder uiteenlopende productieomstandigheden door te voldoen aan specifieke procesvereisten, zoals thermische verwerking, en zijn verkrijgbaar in een breed scala aan materialen.

Verschillende materiaalkeuzes

Horizontale wafercassettes zijn verkrijgbaar in een verscheidenheid aan hoogwaardige materialen om te voldoen aan de uiteenlopende eisen van de halfgeleiderfabricage. Deze bieden uitstekende chemische weerstand en thermische stabiliteit en omvatten PVDF, ECTFE Halar, PFA Teflon en PTFE Teflon. Opties van roestvrij staal zoals 304L en 316 worden aanbevolen voor toepassingen die een verhoogde mechanische sterkte en weerstand tegen corrosie vereisen. Natuurlijk polypropyleen wordt ook gebruikt vanwege zijn economische en lichtgewicht eigenschappen, die flexibiliteit bij de toepassing mogelijk maken terwijl de integriteit van de procedure voor het hanteren van de wafer behouden blijft.

Kenmerken van geavanceerd ontwerp

Met kenmerken die kunnen worden aangepast om aan bepaalde operationele vereisten te voldoen, worden horizontale wafercassettes nauwgezet geconstrueerd. Deze bestaan ​​uit zijopeningsprofielen, substraatcontactpunten, substraatafstand en -afstand, en afmetingen en vormen die kunnen worden gewijzigd. Hun aanpassingsvermogen in een verscheidenheid aan processen wordt vergroot door hun veelzijdigheid in substraatoriëntatie en hun vermogen om een ​​reeks substraatgroottes te verwerken. Bovendien kunnen aan deze cassettes automatiseringsfuncties en mogelijkheden voor het hanteren van cassettes worden toegevoegd, zoals afneembare handgrepen voor meer gemak.

Toepassingen

Bij de productie van halfgeleiders is het gebruik van horizontale wafercassettes essentieel voor het garanderen van de veilige en effectieve hantering van wafers in een verscheidenheid aan procedures.

Horizontale wafercassettes zijn gemaakt van stevige, hoogwaardige materialen en bieden een sterke bescherming tegen fysieke schade en besmetting, twee belangrijke problemen in halfgeleideromgevingen. De architectuur van de cassettes beschermt de kwetsbare wafers tijdens opslag en transport door de blootstelling aan eventuele verontreinigingen te verminderen.

Verbeterde reiniging en droging

Betere was- en droogresultaten worden mogelijk gemaakt door het grote openingsoppervlak bij het ontwerp van horizontale wafercassettes. Deze eigenschap is cruciaal voor het behoud van de zuiverheid van de wafel, waardoor de kans op fouten wordt verkleind en het kaliber van de voltooide halfgeleiderapparaten wordt verbeterd.

Efficiëntie van chemische stroom en verwerking

Om materiaalvangstplekken te minimaliseren en de dynamiek van de chemische doorstroming te maximaliseren, zijn horizontale wafercassettes ontworpen. Om de chemicaliënstroom te verbeteren en een volledige dekking en efficiënte verwerking in chemicaliënbaden te garanderen, kunnen een aantal extra functies worden toegevoegd.

Veilig transport en uitlijning van wafers

Het ontwerp van de horizontale wafercassette wordt gekenmerkt door een nauwkeurige uitlijning van de wafers, wat garandeert dat de wafers tijdens het transport stevig op hun plaats worden gehouden. Dit verkleint de kans op breuk of verkeerde uitlijning, wat zou kunnen resulteren in dure fouten of vertragingen in het proces. Het hanteren van wafers moet veilig gebeuren om de integriteit van het halfgeleiderproductieproces te behouden.

Efficiëntie in workflow en ergonomie

Horizontale wafercassettes zijn eenvoudig te gebruiken en efficiënt vanwege hun ergonomische ontwerp, dat de laad- en losprocedure stroomlijnt. In cleanroomomgevingen verbetert deze eenvoud van gebruik de efficiëntie van de workflow, waardoor efficiëntere processen en minder verwerkingstijd mogelijk zijn. Fabrikanten van halfgeleiders kunnen de efficiëntie verhogen en strenge hygiënenormen handhaven door deze procedures te vereenvoudigen.