PBN Composite -kachels

Semicorex PBN composietverwarmers versmelten de uitstekende thermische geleidbaarheid van pyrolytisch grafiet met de chemische inertie en elektrische isolatie van pyrolytische boornitride. Deze kachels zijn gebouwd uit een zeer hoge zuiverheidsgrafiet en PBN dat wordt toegepast met behulp van een hoogwaardige CVD -proces (chemische dampafzetting) proces onder hoge zuiverheidsafzettingomstandigheden. Elke individuele prestatielaag is afgezet met een zeer extreme controleerbaarheid om ultrahoge zuiverheid en consistente thermische eigenschappen te garanderen. De grafietkern, die overal snelle en uniforme verwarming biedt, wordt beschermd tegen oxidatie en verontreiniging door de PBN -capsule; Dit maakt de kachel ideaal voor vacuümgasomgevingen en inerte gasomgevingen. Deze PBN -kachels zijn doelbewust ontworpen voor gebruik in MBE (moleculaire bundelpitaxie) reactoren, CVD -reactoren en andere kristalgroeimogers.

De pyrolytische boornitride-pyrolytische grafiet (PBN-PG) composietverwarming is een verwarming die PBN met hoge insulatie gebruikt als het substraat en gebruik maakt van lagedrukkende thermische ontleding chemische dampafzetting (CVD) bij lage druk (onder 10Torr) en de middelbare temperatuur om de geleiders te coaten. De belangrijkste componenten van deze composietverwarming zijn pyrolytisch boornitride (PBN) en pyrolytisch grafiet (PG). Vanwege de uitstekende corrosieweerstand en hoge temperatuurweerstand wordt het voornamelijk gebruikt voor halfgeleidersubstraatverwarming (gebruikt in MBE, MOCVD, sputtercoating, enz.); supergeleidersubstraatverwarming; monsterverwarming tijdens monsteranalyse; elektronenmicroscoopmonsterverwarming; metaalverwarming; Metaalverdampingsbron, etc.

De PBN -kachels kunnen de bedrijfstemperaturen van maximaal 1600 ° C in vacuüm weerstaan en hebben een verbeterd vermogen om thermische schok te weerstaan over alle op metaal gebaseerde alternatieven waarop u zou vertrouwen. Het oppervlak van de verwarming is extreem soepel en dicht en produceert aanzienlijk minder deeltjes tijdens de werking die van cruciaal belang zijn voor toepassingen waarbij verontreiniging niet kan worden getolereerd, zoals de verwerking van halfgeleiderwafer.

De composietstructuur biedt uitstekende thermische uniformiteit over het verwarmingoppervlak en de resistieve paden kunnen worden aangepast om een op maat gemaakte warmteverdeling mogelijk te maken. Dit ontwerp maakt snelle ramp-up- en cooldown-cycli mogelijk tijdens de verwerking zonder kraken en delamineren vanwege dezelfde thermische expansiecoëfficiënten van de gebruikte materialen. De elektroden zijn in staat om continue high -stroom werking te weerstaan en zijn ook compatibel in vacuüm.

Semicorex biedt onbeperkte ontwerpflexibiliteit voor unieke vormen, maten en stroomvereisten indien nodig om aan specifieke toepassingsbehoeften te voldoen; Of het nu gaat om standaard wafergroottes of meer complexe geometrieën, we garanderen dimensionale nauwkeurigheid en thermische uniformiteit in elke geproduceerde eenheid.

PBN Composite-kachels zijn perfect voor ultra-schone toepassingen, waaronder:

• MBE-systemen voor III-V en II-VI Samengestelde halfgeleiderverwerking
• Vacuümcoatiesystemen voor optische componenten
• Crystal Growth Systems voor Sapphire en SIC
• Hoge zuivere thermische verwerking voor labomgevingen voor onderzoek en ontwikkeling.