PBN -verwarming

Semicorex pyrolytische boornitride PBN-verwarming is een krachtige, krachtige verwarmingscomponent die is ontworpen voor veeleisende toepassingen waar ultra-rein, chemisch stabiel en thermisch efficiënte materialen essentieel zijn. Gefabriceerd door een chemisch dampafzetting (CVD) proces, vertoont PBN een uitzonderlijke thermische geleidbaarheid, weerstand van hoge temperatuur en uitstekende chemische inertie, waardoor het de ideale keuze is voor halfgeleiderverwerking, kristalgroei en vacuümtoepassingen.

PBN-verwarming is een verwarming die PBN zeer isoleert als een substraat en gebruik maakt van lagere druk thermische ontleding chemische dampafzetting (CVD) om geleidende PG te coaten bij lage druk (onder 10Torr) en hoge temperatuur. De belangrijkste componenten van deze composietverwarming zijn pyrolytisch boornitride (PBN) en pyrolytisch grafiet (PG). Vanwege de uitstekende corrosieweerstand en hoge temperatuurweerstand wordt het voornamelijk gebruikt voor halfgeleidersubstraatverwarming (gebruikt in MBE, MOCVD, sputtercoating, enz.); supergeleidersubstraatverwarming; monsterverwarming tijdens monsteranalyse; elektronenmicroscoopmonsterverwarming; metaalverwarming; Metaalverdampingsbron, etc.

PBN is inert voor corrosieve gassen; heeft een hoge zuiverheid (meer dan 99,99%); is niet nat of reageert met de meeste gesmolten metalen (het heeft de kenmerken van een anti-aanbakpan en het metaal kan 100%worden gebruikt); heeft een goede weerstand van hoge temperatuur (de maximale bedrijfstemperatuur is 2000 ℃); goede dichtheid; Goede thermische schokweerstand en andere uitstekende eigenschappen maken het een ideaal materiaal voor het bereiden van PBN-PG composietverwarmers. PG kan snel worden verwarmd tot 1600 ℃ (in een inerte atmosfeer en onder vacuüm) in een PBN -kachel. Tegelijkertijd, gecombineerd met de goede thermische geleidbaarheid van PBN, heeft het verwarmingsoppervlak een goede warmte -uniformiteit. Met de snelle ontwikkeling van gerelateerde industrieën is de vraag naar PBN-PG composietverwarmers ook snel toegenomen.

PBN -kachels kunnen worden gefabriceerd in verschillende vormen en configuraties om te voldoen aan specifieke ontwerp- en integratievereisten. Typische ontwerpen zijn onder meer vlakke kachels, buisvormige kachels en aangepaste geometrieën met ingebedde of oppervlakte-gemonteerde verwarmingselementen. De verwarmingselementen zijn meestal gemaakt van pyrolytisch grafiet (PG) en ingekapseld in PBN, waardoor een volledig afgesloten, elektrisch isolerende en thermisch efficiënte structuur wordt geleverd.