PECVD zonne-grafietboot

SemicorexPECVD zonnegrafietbotenzijn nauwkeurig gemaakt van hoge zuiverheidisostatisch grafiet. Elke PECVD-zonnegrafietboot van Semicorex ondergaat nauwkeurige bewerking, dimensionale inspectie en elektrische prestatietests om stabiele prestaties in plasma-omgevingen met hoge temperaturen te garanderen.

Tijdens de PECVD-verwerking vervoert de PECVD-zonnegrafietboot siliciumwafels naar de PECVD-reactiekamer en dient als elektrode die is aangesloten op de RF-voeding. Wanneer er een wisselspanning wordt aangelegd tussen aangrenzende bootplaten, ontstaat er een elektrisch veld. Onder invloed van het elektrische veld ondergaan de reactieve gassen (zoals silaan SiH₄ en ammoniak NH3) een glimontlading en genereren plasma. Ionen en vrije radicalen in het plasma ontleden de voorlopergassen en vormen silicium- (Si) en stikstof- (N)-ionen. Deze ionen vormen samen siliciumnitride (Si₃N₄)-moleculen, die vervolgens op het oppervlak van de siliciumwafel worden afgezet om dunne films te vormen.

1. Uitzonderlijke thermische stabiliteit

Met een thermische uitzettingscoëfficiënt die dicht bij die van siliciumwafels ligt, biedt SemicorxPECVD zonnegrafietbootondervindt een verwaarloosbare dimensionale verandering bij verwarming, waardoor op betrouwbare wijze door thermische spanning veroorzaakte schade aan de wafers wordt vermeden.

2. Superieure elektrische en thermische geleidbaarheid

Semicorex PECVD zonnegrafietboten hebben een uitstekende elektrische geleidbaarheid, waardoor een snelle geleiding van RF-stroom en een uniforme verdeling van het elektrische veld wordt gegarandeerd, wat gunstig is voor stabiele plasmageneratie en uniforme afzetting van siliciumwafels. Bovendien maakt de superieure thermische geleidbaarheid snelle koeling en verwarming mogelijk, waardoor de productie-efficiëntie wordt verbeterd en wordt voorkomen dat plaatselijke oververhitting de afzettingskwaliteit beïnvloedt.

3. Sterke chemische stabiliteit

Dankzij het gebruik van hoogwaardig materiaal is de Semicorex PECVD zonnegrafietboot minder gevoelig voor reactie met de reactieve gassen en plasma. Deze eigenschap voorkomt aanzienlijk een ongelijkmatige elektrische veldverdeling veroorzaakt door corrosie, vervorming of afzetting van onzuiverheden in de grafietboot, waardoor de stabiliteit van het afzettingsproces en de oppervlaktekwaliteit van siliciumwafels wordt gegarandeerd.

4. Uitstekende mechanische sterkte

Met zijn uitstekende mechanische sterkte kan de Semicorex PECVD zonnegrafietboot gemakkelijk het gewicht van grote waferladingen aan. Ze zijn lange tijd bestand tegen de mechanische spanning die ontstaat tijdens het laden en transport, zonder gemakkelijk te vervormen of te breken.

5. Uitstekende maatvastheid

Semicorex PECVD zonnegrafietboot bereikt uitzonderlijke maatnauwkeurigheid voor alle componenten door middel van precisiebewerking. Het houdt de siliciumwafel tijdens de depositie in een vaste positie, wat een uniforme depositie en compatibiliteit met geautomatiseerde productie garandeert.