PFA Wafer -dragers

Semicorex PFAWafeldragerszijn krachtige dragers ontworpen voor de veilige hantering, opslag en transport van halfgeleiderwafels in een ultra-schone omgeving. De vervaardiging van geavanceerde halfgeleiders zorgt ervoor dat PFA -wafeldragers ongeëvenaarde chemische weerstand, thermische stabiliteit en deeltjesregeling bieden door de integriteit en netheid van de wafels tijdens de fabricage tot definitieve testen.

Gemaakt van nieuwe PFA, deze wafeldragers vertonen grote weerstand tegen harde chemicaliën zoals sterke zuren, basen en oplosmiddelen die meestal worden gebruikt bij het reinigen en etsen. PFA's zeer lage uitloging en uitgaande eigenschappen van ionen maken het het voorkeursmateriaal voor belangrijke cleanroom -taken, waar zelfs kleine hoeveelheden verontreinigingen de apparaatopbrengsten kunnen beïnvloeden.

PFA Wafer -dragers zijn gemaakt in schone kamers en werken met klasse 1 (ISO Klasse 3) Clean Room -normen. Het gladde, anti-aanbakoppervlak van PFA minimaliseert de generatie en hechting van deeltjes, waardoor verontreiniging door residuen of deeltjes wordt voorkomen. Bovendien vergemakkelijkt de hydrofobe aard van PFA grondig spoelen en snel drogen, waardoor het risico op kruisbesmetting tijdens natte verwerkingsstappen verder wordt verminderd.

Elke PFA Wafer -drager wordt precies gemaakt om ervoor te zorgen dat veilig en zelfs ondersteuning van wafels tijdens het verplaatsen en houden. Groefslots helpen wafels met weinig contact, verminderen stress en afbrokkelen aan de randen van de wafels. Dragers zijn er in vele vormen die passen bij verschillende maten wafels, waaronder 100 mm, 150 mm, 200 mm en 300 mm diameters. Optionele tops en strakke vergrendelings manieren geven extra veiligheid tegen shock voor de waren, trillingen en blootstelling aan de omgeving.

Vanwege de uitstekende thermische resistentie van PFA tot 260 ° C is deze compatibel met processen op hoge temperatuur zoals diffusie, oxidatie en chemische dampafzetting CVD. De drager behoudt zijn structurele integriteit onder herhaalde thermische cycli en is daarom geschikt voor zowel batch- als geautomatiseerde verwerkingsomgevingen.

PFA-wafeldragers hebben brede toepassingen bij het reinigen van wafers, natte etsen, fotolithografie CMP en andere front-end en back-end processen in IC-fabricage. Hun robuuste ontwerp en zuiverheid maken ze ideaal voor gebruik in fabs, R & D -laboratoria en OEM -apparatuur die strikte protocollen voor verontreiniging vereist.

AangepastPFA Wafer -dragerskan worden ontwikkeld om te voldoen aan specifieke automatiseringseisen, waaronder robotafhandeling, tracksystemen en verticaal/horizontaal transport. Dragers zijn volledig compatibel met standaard waferafhandelingsapparatuur en fabricagetools van halfgeleiders.